[实用新型]一种炉管用碳化硅桨有效
申请号: | 202120616589.3 | 申请日: | 2021-03-25 |
公开(公告)号: | CN214371739U | 公开(公告)日: | 2021-10-08 |
发明(设计)人: | 袁华斌 | 申请(专利权)人: | 常州亿晶光电科技有限公司 |
主分类号: | F27D1/18 | 分类号: | F27D1/18;F27D19/00;F27D21/00;H01L31/18 |
代理公司: | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258 | 代理人: | 郑云 |
地址: | 213213 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及太阳能电池片生产设备技术领域,尤其是一种炉管用碳化硅桨,包括置于炉管内的桨臂,桨臂端部连接炉门,炉管下方设有驱动机构,桨臂下端可拆卸连接有炉温检测机构,桨臂上端面,且位于与炉门连接端连接有承重加强块。本实用新型的一种炉管用碳化硅桨,控制驱动机构打开炉门,炉门带动桨臂移出炉管,在其桨臂上放置装满待反应硅片的舟件,然后通过驱动机构将其放置有舟件的桨臂输送进炉管内,炉门盖合在炉管内,进而完成硅片在炉管内的舟件上的加工工艺。 | ||
搜索关键词: | 一种 炉管 碳化硅 | ||
【主权项】:
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