[实用新型]电镀挂具和电镀装置有效
| 申请号： | 202120560974.0 | 申请日： | 2021-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN214655335U | 公开（公告）日： | 2021-11-09 |
| 发明（设计）人： | 王东升;孔跃春;王国峰 | 申请（专利权）人： | 青岛惠芯微电子有限公司;青岛惠科微电子有限公司;北海惠科半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C25D17/08 | 分类号： | C25D17/08;C25D7/12 |
| 代理公司： | 深圳市百瑞专利商标事务所(普通合伙) 44240 | 代理人： | 邢涛 |
| 地址： | 266200 山东省青*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本申请公开了电镀挂具和电镀装置，所述电镀挂具包括下载板、固定结构、导电结构、阴极接口和突出部，所述下载板上设有用于放置晶圆的晶圆槽，所述固定结构用于将所述晶圆固定在所述晶圆槽内，用于使所述晶圆的背面密封，且使所述晶圆的正面外露；所述导电结构用于与所述晶圆的背面相贴；所述突出部设置在所述晶圆槽的外侧，与所述下载板或固定结构连接，且朝所述晶圆的电镀面方向，突出于所述下载板和固定结构。这样电镀挂具在放入镀槽并浸没在电镀液后，当电镀挂具与镀槽相贴时，突出部能够将晶圆的电镀面与镀槽隔开，防止晶圆的电镀面被遮挡住，从而使晶圆的电镀面与电镀液充分接触，这样电镀挂具无论在镀槽中如何放置都不会影响到晶圆的电镀。 | ||
| 搜索关键词： | 电镀 装置 | ||
【主权项】：
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