[实用新型]一种用于光电芯片外延的MOCVD MO源钢瓶手阀装置有效
| 申请号： | 202120380355.3 | 申请日： | 2021-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN215569725U | 公开（公告）日： | 2022-01-18 |
| 发明（设计）人： | 袁小林 | 申请（专利权）人： | 福建慧芯激光科技有限公司 |
| 主分类号： | F17C13/04 | 分类号： | F17C13/04;F17C13/00 |
| 代理公司： | 泉州市文华专利代理有限公司 35205 | 代理人： | 陈云川 |
| 地址： | 362100 福建省泉州*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于光电芯片外延的MOCVD MO源钢瓶手阀装置，包括钢瓶、设置在钢瓶上的入口管道、设置在钢瓶上的出口管道、设置在入口管道上的入口手阀以及设置在出口管道上的出口手阀，所述入口手阀上设有用于检测所述入口手阀启闭的第一传感装置，所述出口手阀上设有用于检测所述出口手阀启闭的第二传感装置，第一传感装置和第二传感装置均连接有传感信号显示机构。本实用新型通过第一传感装置可以检测出口手阀的启闭状态，通过第二传感装置可以检测入口手阀的启闭状态，并将相应的检测状态通过传感信号显示机构显示出来，提示手阀的状态，避免忘记关手阀而造成经济损失和产生安全事故，本实用新型具有结构简易的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 光电 芯片 外延 mocvd mo 钢瓶 装置 | ||
【主权项】：
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