[实用新型]一种用于光电芯片外延的MOCVD MO源钢瓶手阀装置

权利要求书

1.一种用于光电芯片外延的MOCVD MO源钢瓶手阀装置，包括钢瓶、设置在钢瓶上的入口管道、设置在钢瓶上的出口管道、设置在入口管道上的入口手阀以及设置在出口管道上的出口手阀，其特征在于：所述入口手阀上设有用于检测所述入口手阀启闭的第一传感装置，所述出口手阀上设有用于检测所述出口手阀启闭的第二传感装置，第一传感装置和第二传感装置均连接有传感信号显示机构。

2.如权利要求1所述的一种用于光电芯片外延的MOCVD MO源钢瓶手阀装置，其特征在于：所述入口手阀包括设置在所述入口管道中的第一阀体和设置在第一阀体上用于控制第一阀体启闭的第一旋转阀杆，所述出口手阀包括设置在所述出口管道中的第二阀体和设置在第二阀体上用于控制第二阀体启闭的第二旋转阀杆，所述第一传感装置设置在第一旋转阀杆上，所述第二传感装置设置在第二旋转阀杆上。

3.如权利要求2所述的一种用于光电芯片外延的MOCVD MO源钢瓶手阀装置，其特征在于：所述第一旋转阀杆上设有第一手阀，所述第一传感装置设置在第一手阀上，所述第二旋转阀杆上设有第二手阀，所述第二传感装置设置在第二手阀上。

4.如权利要求3所述的一种用于光电芯片外延的MOCVD MO源钢瓶手阀装置，其特征在于：所述第一传感装置和所述第二传感装置均为距离传感器。

5.如权利要求4所述的一种用于光电芯片外延的MOCVD MO源钢瓶手阀装置，其特征在于：所述距离传感器为激光传感器。

6.如权利要求5所述的一种用于光电芯片外延的MOCVD MO源钢瓶手阀装置，其特征在于：所述入口管道和所述出口管道均为硬质管材。

7.如权利要求6所述的一种用于光电芯片外延的MOCVD MO源钢瓶手阀装置，其特征在于：所述入口管道上套设有第一活动螺母，所述入口管道的入口端设置有用于限制第一活动螺母滑出的第一限位凸缘，第一活动螺母沿轴向的一端设有与第一限位凸缘对应的第一限位部，还包括气体输入管道，气体输入管道上设有与第一活动螺母对应的第一螺纹部，气体输入管道与入口管道之间设有第一密封垫片。

8.如权利要求7所述的一种用于光电芯片外延的MOCVD MO源钢瓶手阀装置，其特征在于：所述出口管道上套设有第二活动螺母，所述出口管道的出口端设置有用于限制第二活动螺母滑出的第二限位凸缘，第二活动螺母沿轴向的一端设有与第二限位凸缘对应的第二限位部，还包括气体输出管道，气体输出管道上设有与第二活动螺母对应的第二螺纹部，气体输出管道与出口管道之间设有第二密封垫片。

9.如权利要求1至8任一项所述的一种用于光电芯片外延的MOCVD MO源钢瓶手阀装置，其特征在于：所述传感信号显示机构为蜂鸣器或者报警灯。