[实用新型]一种高效硅异质结太阳能电池

摘要

本实用新型公开了一种高效硅异质结太阳能电池，属于太阳能电池技术领域。包括N型晶体硅片，所述N型晶体硅片的正面依次设置第二薄层SiO2层、第二氢化非晶碳氧化硅薄膜层、第二C掺杂SiO2层、非晶硅掺杂N型层、第二TCO导电层和第二电极；所述N型晶体硅片的背面依次设置第一薄层SiO2层、第一氢化非晶碳氧化硅薄膜层、第一C掺杂SiO2层、非晶硅掺杂P型层、第一TCO导电层和第一电极，本实用新型以氢化非晶碳氧化硅薄膜作为本征钝化层的异质结太阳电池，实现对晶硅表面优良的钝化效果，减少界面载流子复合；同时采用改进的双扩B工艺，防止B2H6掺杂时B原子向本征非晶硅层扩散带来的禁带宽度的降低和不必要的钝化膜掺杂，提升硅异质结电池的转换效率。