[实用新型]一种区熔籽晶夹具有效
| 申请号: | 202120282466.0 | 申请日: | 2021-02-01 |
| 公开(公告)号: | CN214422780U | 公开(公告)日: | 2021-10-19 |
| 发明(设计)人: | 刘凯;涂颂昊;张志富;王遵义;孙健;谭永麟;孙晨光;王彦君 | 申请(专利权)人: | 中环领先半导体材料有限公司;天津中环领先材料技术有限公司 |
| 主分类号: | C30B13/00 | 分类号: | C30B13/00;C30B29/06 |
| 代理公司: | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人: | 薛萌萌 |
| 地址: | 214200 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | 本实用新型提供了一种区熔籽晶夹具,包括籽晶夹持器及内轴,籽晶夹持器的下端面的中心处设有向内凹陷的圆柱形空腔,圆柱形空腔内壁设有内螺纹,内轴的轴尖外壁设有与内螺纹相匹配的外螺纹,内轴轴尖插设于籽晶夹持器的圆柱形空腔内,并通过螺纹连接。本实用新型所述的区熔籽晶夹具结构简单、设计合理、制造成本低,可减轻单晶在引晶和扩肩生长过程中产生的晃动,确保单晶体稳定生长。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 籽晶 夹具 | ||
【主权项】:
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