[实用新型]一种区熔籽晶夹具有效

专利信息
申请号: 202120282466.0 申请日: 2021-02-01
公开(公告)号: CN214422780U 公开(公告)日: 2021-10-19
发明(设计)人: 刘凯;涂颂昊;张志富;王遵义;孙健;谭永麟;孙晨光;王彦君 申请(专利权)人: 中环领先半导体材料有限公司;天津中环领先材料技术有限公司
主分类号: C30B13/00 分类号: C30B13/00;C30B29/06
代理公司: 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 代理人: 薛萌萌
地址: 214200 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 籽晶 夹具
【权利要求书】:

1.一种区熔籽晶夹具,包括籽晶夹持器(1)及内轴(2),其特征在于:所述籽晶夹持器(1)的下端面的中心处设有向内凹陷的圆柱形空腔,所述圆柱形空腔内壁设有内螺纹,所述内轴(2)的轴尖外壁设有与所述内螺纹相匹配的外螺纹,所述内轴(2)轴尖插设于所述籽晶夹持器(1)的圆柱形空腔内,并通过螺纹(3)连接。

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