[实用新型]一种便于维护的硅片抛光用研磨设备

摘要

本实用新型涉及硅片加工技术领域，且公开了一种便于维护的硅片抛光用研磨设备，包括主体，所述主体的前侧固定连接有固定柱，所述固定柱的内部开设有固定槽，所述固定槽的内底壁连接有固定轴承，所述固定轴承通过固定短管连接有第一齿轮，所述第一齿轮的内部螺纹连接有螺杆。该便于维护的硅片抛光用研磨设备，通过固定柱、固定轴承、固定短管、第一齿轮、螺杆、转轴、第二齿轮、限位柱、盛放台、转轴、固定杆、固定盘、真空吸嘴、固定螺母、连通管和微型真空隔膜泵之间的相互配合，可以通过真空吸嘴将游星轮内的硅片吸起，达到了便于将硅片从游星轮内取出的效果，解决了当硅片置于游星轮内时，此时的硅片不便于进行人工卸料的问题。