[实用新型]一种便于维护的硅片抛光用研磨设备

说明书

本实用新型涉及硅片加工技术领域，且公开了一种便于维护的硅片抛光用研磨设备，包括主体，所述主体的前侧固定连接有固定柱，所述固定柱的内部开设有固定槽，所述固定槽的内底壁连接有固定轴承，所述固定轴承通过固定短管连接有第一齿轮，所述第一齿轮的内部螺纹连接有螺杆。该便于维护的硅片抛光用研磨设备，通过固定柱、固定轴承、固定短管、第一齿轮、螺杆、转轴、第二齿轮、限位柱、盛放台、转轴、固定杆、固定盘、真空吸嘴、固定螺母、连通管和微型真空隔膜泵之间的相互配合，可以通过真空吸嘴将游星轮内的硅片吸起，达到了便于将硅片从游星轮内取出的效果，解决了当硅片置于游星轮内时，此时的硅片不便于进行人工卸料的问题。

技术领域

本实用新型涉及硅片加工技术领域，具体为一种便于维护的硅片抛光用研磨设备。

背景技术

硅片抛光研磨设备又称为硅片双面研磨机，主要对硅片进行双面研磨，在工作时上、下研磨盘作相反方向转动，而工件则在载体内作既公转又自转的游星运动，这种研磨设备不仅磨削阻力小不损伤工件，而且两面均匀磨削生产效率高，双面研磨机的主要结构包括两个研磨盘、游星轮、四个电机、太阳轮和修面机等。

硅片在研磨过程中会一直置于游星轮内，当研磨完毕后，需人工将硅片从游星轮中取出，但硅片厚度较薄，且硅片的侧面与游星轮的内壁贴合的较为紧密，在人工取片时容易在硅片表面造成划痕，影响硅片的品质。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种便于维护的硅片抛光用研磨设备，具备便于将硅片从游星轮内取出的优点，解决了当硅片置于游星轮内时，人工卸料不便的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种便于维护的硅片抛光用研磨设备，包括主体，所述主体的前侧固定连接有固定柱，所述固定柱的内部开设有固定槽，所述固定槽的内底壁连接有固定轴承，所述固定轴承通过固定短管连接有第一齿轮，所述第一齿轮的内部螺纹连接有螺杆，所述螺杆的侧表面与固定柱的内部活动连接，所述固定柱的内部活动连接有转轴，所述转轴的侧表面固定套接有第二齿轮和把手，所述第一齿轮与第二齿轮啮合，所述螺杆的侧表面固定套接有固定板，所述固定板的底部固定连接有限位柱，所述固定柱的内部开设有限位孔，所述限位柱的侧表面与限位孔的内部活动连接，所述固定柱的右侧固定连接有盛放台，所述螺杆的侧表面活动连接有转杆，所述转杆的内部活动连接有固定杆，所述固定杆的侧表面固定套接有固定盘,所述固定盘的内部连接有真空吸嘴，所述真空吸嘴的侧表面螺纹连接有固定螺母，所述真空吸嘴的顶部通过第一导管连接有连通管，所述连通管通过第二导管连接有微型真空隔膜泵。

优选的，所述固定短管的侧表面与固定轴承的内部固定连接，所述第一齿轮的底部与固定短管的顶端固定连接。

优选的，所述固定槽的内顶壁开设有通槽，所述螺杆的侧表面与通槽的内部活动连接。

优选的，所述固定盘的内部开设有第一通孔，所述固定杆的侧表面与第一通孔的内部固定连接。

优选的，所述固定盘的内部开设有第二通孔，所述真空吸嘴的侧表面与第二通孔的内部活动连接。

优选的，所述连通管的顶部固定连接有分管，所述分管的内部固定连接有密封板和固定架，所述固定架的内部螺纹连接有螺纹轴，所述螺纹轴的底端固定连接有活塞头，所述密封板的内部开设有排气槽，所述活塞头的底部与密封板的顶部抵持。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种便于维护的硅片抛光用研磨设备，具备以下有益效果：