[实用新型]一种单晶硅片清洗用可调式花篮有效
| 申请号： | 202120140637.6 | 申请日： | 2021-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN214516379U | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 陈锋;沈国君;陆勇;赖锦香 | 申请（专利权）人： | 浙江众晶电子有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/04 | 分类号： | B08B3/04;B08B13/00;H01L21/02 |
| 代理公司： | 温州青科专利代理事务所(特殊普通合伙) 33390 | 代理人： | 钱磊 |
| 地址： | 324300 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种单晶硅片清洗用可调式花篮，涉及单晶硅领域。该单晶硅片清洗用可调式花篮，包括底板，所述底板的右侧固定连接有侧板，所述侧板的左侧搭接有顶板，所述顶板的上表面固定连接有把手，所述底板和顶板相对的一侧均固定连接有隔板，所述侧板的左侧开设有伸缩槽，所述伸缩槽的内部滑动连接有滑块，所述滑块的左侧与顶板的右侧固定连接。该单晶硅片清洗用可调式花篮，通过螺杆、螺纹孔、转块、开槽和侧板之间的相互配合，达到可以将顶板和底板之间的间距进行调节，使得适用于不同大小的硅片固定，解决了目前单晶硅片清洗用花篮无法调节其夹距，从而对于不同大小的硅片无法进行很好的固定，在清洗过程中容易使得硅片跌落而损坏的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶硅 清洗 调式 花篮 | ||
【主权项】：
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