[实用新型]一种单晶硅片清洗用可调式花篮有效

专利信息
申请号: 202120140637.6 申请日: 2021-01-19
公开(公告)号: CN214516379U 公开(公告)日: 2021-10-29
发明(设计)人: 陈锋;沈国君;陆勇;赖锦香 申请(专利权)人: 浙江众晶电子有限公司
主分类号: B08B3/04 分类号: B08B3/04;B08B13/00;H01L21/02
代理公司: 温州青科专利代理事务所(特殊普通合伙) 33390 代理人: 钱磊
地址: 324300 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 单晶硅 清洗 调式 花篮
【说明书】:

实用新型提供一种单晶硅片清洗用可调式花篮,涉及单晶硅领域。该单晶硅片清洗用可调式花篮,包括底板,所述底板的右侧固定连接有侧板,所述侧板的左侧搭接有顶板,所述顶板的上表面固定连接有把手,所述底板和顶板相对的一侧均固定连接有隔板,所述侧板的左侧开设有伸缩槽,所述伸缩槽的内部滑动连接有滑块,所述滑块的左侧与顶板的右侧固定连接。该单晶硅片清洗用可调式花篮,通过螺杆、螺纹孔、转块、开槽和侧板之间的相互配合,达到可以将顶板和底板之间的间距进行调节,使得适用于不同大小的硅片固定,解决了目前单晶硅片清洗用花篮无法调节其夹距,从而对于不同大小的硅片无法进行很好的固定,在清洗过程中容易使得硅片跌落而损坏的问题。

技术领域

本实用新型涉及单晶硅技术领域,具体为一种单晶硅片清洗用可调式花篮。

背景技术

熔融的单质硅在凝固时硅原子以金刚石晶格排列成三维空间长程有序的形式成为单晶硅。单晶硅具有准金属的物理性质,有较弱的导电性,其电导率随温度的升高而增加,有显著的半导电性。超纯的单晶硅是本征半导体。在超纯单晶硅中掺入微量的ⅢA族元素,如硼可提高其导电的程度,而形成p型硅半导体;如掺入微量的ⅤA族元素,如磷或砷也可提高导电程度,形成n型硅半导体。单晶硅的制法通常是先制得多晶硅或无定形硅,然后用直拉法或悬浮区熔法从熔体中生长出棒状单晶硅。单晶硅主要用于制作半导体元件。硅结晶型的硅是暗黑蓝色的,很脆,是典型的半导体。化学性质非常稳定。在常温下,除氟化氢以外,很难与其他物质发生反应,单晶硅片在生产中都是需要进行清洗的,而清洗时需使用到专用的清洗花篮,目前单晶硅片清洗用花篮无法调节其夹距,从而对于不同大小的硅片无法进行很好的固定,在清洗过程中容易使得硅片跌落而损坏。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种单晶硅片清洗用可调式花篮,解决了目前单晶硅片清洗用花篮无法调节其夹距,从而对于不同大小的硅片无法进行很好的固定,在清洗过程中容易使得硅片跌落而损坏的问题。

技术方案

为实现以上目的,本实用新型通过以下技术方案予以实现:一种单晶硅片清洗用可调式花篮,包括底板,所述底板的右侧固定连接有侧板,所述侧板的左侧搭接有顶板,所述顶板的上表面固定连接有把手,所述底板和顶板相对的一侧均固定连接有隔板,所述侧板的左侧开设有伸缩槽,所述伸缩槽的内部滑动连接有滑块,所述滑块的左侧与顶板的右侧固定连接,所述滑块的下表面搭接有螺杆,所述侧板的右侧开设有开槽,所述开槽的内顶壁开设有与伸缩槽内部相连通的螺纹孔,所述螺杆远离滑块的一端与螺纹孔的内部螺纹连接,所述螺杆的底端固定连接有转块。

进一步的,所述两个隔板相对的一侧均固定连接有橡胶板。

进一步的,所述底板和顶板相对的一侧均固定连接有橡胶块。

进一步的,所述底板的左侧固定连接有固定板,所述固定板的上表面固定连接有立柱。

进一步的,所述立柱的表面套接有活动环,所述活动环的右侧与顶板的左侧固定连接。

进一步的,所述立柱的顶端固定连接有限位板,所述立柱的表面套接有弹簧,所述弹簧的底端与固定板的上表面固定连接,所述弹簧的顶端与活动环的下表面固定连接。

本实用新型提供了一种单晶硅片清洗用可调式花篮。具备以下有益效果:

1、该单晶硅片清洗用可调式花篮,通过螺杆、螺纹孔、转块、开槽和侧板之间的相互配合,达到可以将顶板和底板之间的间距进行调节,使得适用于不同大小的硅片固定,解决了目前单晶硅片清洗用花篮无法调节其夹距,从而对于不同大小的硅片无法进行很好的固定,在清洗过程中容易使得硅片跌落而损坏的问题。

2、该单晶硅片清洗用可调式花篮,通过橡胶块的设置,达到对于硅片侧边进行保护,通过橡胶板的设置,达到可以在拿出硅片的时候对于硅片表面水渍进行刮除,通过固定板、弹簧、活动环、限位板和立柱之间的相互配合,达到辅助螺杆进行调节底板和顶板之间的间距。

附图说明

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