[实用新型]一种单晶硅片清洗用可调式花篮有效
| 申请号: | 202120140637.6 | 申请日: | 2021-01-19 |
| 公开(公告)号: | CN214516379U | 公开(公告)日: | 2021-10-29 |
| 发明(设计)人: | 陈锋;沈国君;陆勇;赖锦香 | 申请(专利权)人: | 浙江众晶电子有限公司 |
| 主分类号: | B08B3/04 | 分类号: | B08B3/04;B08B13/00;H01L21/02 |
| 代理公司: | 温州青科专利代理事务所(特殊普通合伙) 33390 | 代理人: | 钱磊 |
| 地址: | 324300 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 单晶硅 清洗 调式 花篮 | ||
1.一种单晶硅片清洗用可调式花篮,包括底板(1),其特征在于:所述底板(1)的右侧固定连接有侧板(18),所述侧板(18)的左侧搭接有顶板(9),所述顶板(9)的上表面固定连接有把手(10),所述底板(1)和顶板(9)相对的一侧均固定连接有隔板(2),所述侧板(18)的左侧开设有伸缩槽(11),所述伸缩槽(11)的内部滑动连接有滑块(12),所述滑块(12)的左侧与顶板(9)的右侧固定连接,所述滑块(12)的下表面搭接有螺杆(13),所述侧板(18)的右侧开设有开槽(17),所述开槽(17)的内顶壁开设有与伸缩槽(11)内部相连通的螺纹孔(14),所述螺杆(13)远离滑块(12)的一端与螺纹孔(14)的内部螺纹连接,所述螺杆(13)的底端固定连接有转块(15)。
2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片清洗用可调式花篮,其特征在于:所述两个隔板(2)相对的一侧均固定连接有橡胶板(16)。
3.根据权利要求1所述的一种单晶硅片清洗用可调式花篮,其特征在于:所述底板(1)和顶板(9)相对的一侧均固定连接有橡胶块(3)。
4.根据权利要求1所述的一种单晶硅片清洗用可调式花篮,其特征在于:所述底板(1)的左侧固定连接有固定板(4),所述固定板(4)的上表面固定连接有立柱(8)。
5.根据权利要求4所述的一种单晶硅片清洗用可调式花篮,其特征在于:所述立柱(8)的表面套接有活动环(6),所述活动环(6)的右侧与顶板(9)的左侧固定连接。
6.根据权利要求5所述的一种单晶硅片清洗用可调式花篮,其特征在于:所述立柱(8)的顶端固定连接有限位板(7),所述立柱(8)的表面套接有弹簧(5),所述弹簧(5)的底端与固定板(4)的上表面固定连接,所述弹簧(5)的顶端与活动环(6)的下表面固定连接。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江众晶电子有限公司,未经浙江众晶电子有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202120140637.6/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种单晶硅片的清洗装置
- 下一篇:一种便于维护的硅片抛光用研磨设备





