[实用新型]一种单晶硅片清洗用可调式花篮有效

专利信息
申请号: 202120140637.6 申请日: 2021-01-19
公开(公告)号: CN214516379U 公开(公告)日: 2021-10-29
发明(设计)人: 陈锋;沈国君;陆勇;赖锦香 申请(专利权)人: 浙江众晶电子有限公司
主分类号: B08B3/04 分类号: B08B3/04;B08B13/00;H01L21/02
代理公司: 温州青科专利代理事务所(特殊普通合伙) 33390 代理人: 钱磊
地址: 324300 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 单晶硅 清洗 调式 花篮
【权利要求书】:

1.一种单晶硅片清洗用可调式花篮,包括底板(1),其特征在于:所述底板(1)的右侧固定连接有侧板(18),所述侧板(18)的左侧搭接有顶板(9),所述顶板(9)的上表面固定连接有把手(10),所述底板(1)和顶板(9)相对的一侧均固定连接有隔板(2),所述侧板(18)的左侧开设有伸缩槽(11),所述伸缩槽(11)的内部滑动连接有滑块(12),所述滑块(12)的左侧与顶板(9)的右侧固定连接,所述滑块(12)的下表面搭接有螺杆(13),所述侧板(18)的右侧开设有开槽(17),所述开槽(17)的内顶壁开设有与伸缩槽(11)内部相连通的螺纹孔(14),所述螺杆(13)远离滑块(12)的一端与螺纹孔(14)的内部螺纹连接,所述螺杆(13)的底端固定连接有转块(15)。

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片清洗用可调式花篮,其特征在于:所述两个隔板(2)相对的一侧均固定连接有橡胶板(16)。

3.根据权利要求1所述的一种单晶硅片清洗用可调式花篮,其特征在于:所述底板(1)和顶板(9)相对的一侧均固定连接有橡胶块(3)。

4.根据权利要求1所述的一种单晶硅片清洗用可调式花篮,其特征在于:所述底板(1)的左侧固定连接有固定板(4),所述固定板(4)的上表面固定连接有立柱(8)。

5.根据权利要求4所述的一种单晶硅片清洗用可调式花篮,其特征在于:所述立柱(8)的表面套接有活动环(6),所述活动环(6)的右侧与顶板(9)的左侧固定连接。

6.根据权利要求5所述的一种单晶硅片清洗用可调式花篮,其特征在于:所述立柱(8)的顶端固定连接有限位板(7),所述立柱(8)的表面套接有弹簧(5),所述弹簧(5)的底端与固定板(4)的上表面固定连接,所述弹簧(5)的顶端与活动环(6)的下表面固定连接。

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