[发明专利]四吋PSS衬底产量的提升方案在审
| 申请号： | 202111682942.9 | 申请日： | 2021-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN114361309A | 公开（公告）日： | 2022-04-15 |
| 发明（设计）人： | 朱景春 | 申请（专利权）人： | 安徽光智科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/20 | 分类号： | H01L33/20;H01L33/00;H01L21/027;H01L21/033 |
| 代理公司： | 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 | 代理人： | 张向琨 |
| 地址： | 239004 安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开提供了一种四吋PSS衬底产量的提升方案，包括以下步骤：步骤一，黄光PR图形；步骤二，制备九片盘刻蚀工艺载盘；步骤三，检验九片盘刻蚀工艺载盘是否满足工艺的需求指标；步骤四，利用九片盘刻蚀工艺载盘生产四时的PSS衬底。本公开的方法通过增加刻蚀工序每盘工艺片数，在相同数目机台的情况下，增加四时的PSS衬底的产量。 | ||
| 搜索关键词： | pss 衬底 产量 提升 方案 | ||
【主权项】：
暂无信息
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