[发明专利]一种基于旋转模态的MEMS陀螺在审
| 申请号： | 202111672568.4 | 申请日： | 2021-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN114353776A | 公开（公告）日： | 2022-04-15 |
| 发明（设计）人： | 阚枭;占瞻;马昭;杨珊;严世涛;彭宏韬;李杨;黎家健;陈秋玉;洪燕 | 申请（专利权）人： | 瑞声开泰科技(武汉)有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/5621 | 分类号： | G01C19/5621;B81B7/02 |
| 代理公司： | 深圳市恒申知识产权事务所(普通合伙) 44312 | 代理人： | 钟连发 |
| 地址： | 430200 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基于旋转模态的MEMS陀螺，包括锚点、弹性连接于锚点外侧的至少两个驱动结构、连接于驱动结构的质量组，以及连接相邻驱动结构的耦合梁，其特征在于，质量组包括连接于驱动结构远离锚点侧的两检测组件，两检测组件分别设置于驱动结构相对的两侧，检测组件包括均连接于驱动结构且间隔设置的两质量块以及设置于质量块下方或上方的检测换能器，质量块的至少部分延伸至驱动结构的外侧。通过将质量块与检测换能器均采用对称布局，便于实现差分检测；面外摆动模态中，大部分质量块均参与角速度敏感，采用面外大面积检测换能器检测，有效提高了陀螺检测的机电耦合系数，提高了陀螺检测的灵敏度与信噪比。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 旋转 mems 陀螺 | ||
【主权项】：
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