[发明专利]一种芯片测试系统有效

专利信息
申请号: 202111669714.8 申请日: 2021-12-31
公开(公告)号: CN114280463B 公开(公告)日: 2023-08-08
发明(设计)人: 彭琪;黄思琪;叶杨椿;魏秀强;苏文毅;余漫;闫大鹏 申请(专利权)人: 武汉锐科光纤激光技术股份有限公司
主分类号: G01R31/28 分类号: G01R31/28
代理公司: 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 代理人: 钟勤
地址: 430000 湖北省*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 本申请提供一种芯片测试系统,包括第一平台、上料机构、模拟激光机构、第一测试机构、第二测试机构、第三测试机构和控制器,上料机构、模拟激光机构、第一测试机构、第二测试机构和第三测试机构分别与控制器连接,第一测试机构的积分球用于获得第一光强度信号,第二测试机构与积分球配合,通过积分球获得第五光强度信号,第三测试机构用于获得第三光强度信息和第四光强度信号,控制器用于根据第一光强度信号、第五光强度信号、第三光强度信号和第四光强度信号计算获得裸测功率、测试功率、发散角,根据裸测功率和测试功率计算待测试芯片的偏振度,根据裸测功率、偏振度和发散角判断待测试芯片是否合格,并输出测试结果。提高测试效率和准确度。
搜索关键词: 一种 芯片 测试 系统
【主权项】:
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