[发明专利]一种芯片测试系统

说明书

本申请提供一种芯片测试系统，包括第一平台、上料机构、模拟激光机构、第一测试机构、第二测试机构、第三测试机构和控制器，上料机构、模拟激光机构、第一测试机构、第二测试机构和第三测试机构分别与控制器连接，第一测试机构的积分球用于获得第一光强度信号，第二测试机构与积分球配合，通过积分球获得第五光强度信号，第三测试机构用于获得第三光强度信息和第四光强度信号，控制器用于根据第一光强度信号、第五光强度信号、第三光强度信号和第四光强度信号计算获得裸测功率、测试功率、发散角，根据裸测功率和测试功率计算待测试芯片的偏振度，根据裸测功率、偏振度和发散角判断待测试芯片是否合格，并输出测试结果。提高测试效率和准确度。

技术领域

本申请属于半导体检测技术领域，尤其涉及一种芯片测试系统。

背景技术

随着半导体激光行业的飞速发展，对激光器芯片进行测试，然而，现有测试设备中，测试设备的功能单一，需要在不用的测试设备上分别测试不同的性能，在进行测试时，需要频繁更换测试设备，测试效率低，而且所有测试设备测试的数据单独保存，无法测试数据的完整性。

发明内容

本申请实施例提供一种芯片测试系统，以解决现有的芯片测试设备功能单一和测试数据不完整的问题。

第一方面，本申请实施例提供一种芯片测试系统，包括：

第一平台；

设置于所述第一平台上的上料机构，包括料台和吸芯组件，所述料台用于放置若干待测试芯片；

设置于所述第一平台上的模拟激光机构，包括工作台、加电组件和冷却组件，所述工作台位于所述料台的一侧，所述加电组件位于所述工作台一侧，所述加电组件用于给所述工作台上的所述待测试芯片加电，以使得所述待测试芯片发出激光束，所述冷却组件与所述工作台连接，所述冷却组件用于给所述工作台上的所述待测试芯片进行冷却降温，所述吸芯组件用于在所述料台和所述工作台之间转移所述待测试芯片；

设置于所述第一平台上的第一测试机构，包括积分球，所述积分球位于所述模拟激光机构远离所述上料机构的一侧，所述积分球的入光口与所述待测试芯片的出光端相对设置，所述积分球用于检测所述待测试芯片在不同强度电流作用的第一光强度信号；

设置于所述第一平台上的第二测试机构，包括偏振分光棱镜、准直透镜、第一调节组件和第二调节组件，所述准直透镜设置于所述第二调节组件上，所述偏振分光棱镜设置于所述第一调节组件，所述第二调节组件用于调节所述准直透镜的位置，所述第一调节组件用于调节所述偏振分光棱镜的位置，以使得所述待测试芯片的出光端、所述准直透镜、所述偏振分光棱镜和所述积分球的入光口位于同一直线上，且所述准直透镜位于所述待测试芯片的出光端和所述偏振分光棱镜之间，所述偏振分光棱镜位于所述准直透镜和所述积分球的入光口之间，所述积分球还用于在所述待测试芯片的出光端、所述准直透镜、所述偏振分光棱镜和所述积分球的入光口位于同一直线上时，检测所述待测试芯片在不同强度电流作用下的第五光强度信号；

设置于所述第一平台上的第三测试机构，包括第一传感器、第二传感器、第一旋转组件和第二旋转组件，所述第一传感器安装于所述第一旋转组件上，所述第二传感器安装于所述第二旋转组件上，所述第一传感器和所述第二传感器沿垂直于所述待测试芯片的光束方向布置，所述第一旋转组件用于驱动所述第一传感器沿第一弧线摆动，所述第一传感器用于检测沿第一弧线摆动过程中各位置的第三光强度信息，所述第二旋转组件用于驱动所述第二传感器沿第二弧线摆动，所述第二传感器用于检测沿第二弧线摆动过程中各位置的第四光强度信号，所述第一弧线所在的平面与所述第二弧线所在的平面垂直布置；

控制器，所述上料机构、所述模拟激光机构、所述第一测试机构、所述第二测试机构和第三测试机构分别与所述控制器连接，所述控制器用于：

接收所述第一光强度信号，并根据所述第一光强度信号计算所述待测芯片在不同强度电流作用下的裸测功率，所述裸测功率是指所述偏振分光棱镜和所述准直透镜远离所述待测试芯片的出光端时，测试所得的功率；