[发明专利]一种芯片测试系统

权利要求书

1.一种芯片测试系统，其特征在于，包括：

第一平台；

设置于所述第一平台上的上料机构，包括料台和吸芯组件，所述料台用于放置若干待测试芯片；

设置于所述第一平台上的模拟激光机构，包括工作台、加电组件和冷却组件，所述工作台位于所述料台的一侧，所述加电组件位于所述工作台一侧，所述加电组件用于给所述工作台上的所述待测试芯片加电，以使得所述待测试芯片发出激光束，所述冷却组件与所述工作台连接，所述冷却组件用于给所述工作台上的所述待测试芯片进行冷却降温，所述吸芯组件用于在所述料台和所述工作台之间转移所述待测试芯片；

设置于所述第一平台上的第一测试机构，包括积分球，所述积分球位于所述模拟激光机构远离所述上料机构的一侧，所述积分球的入光口与所述待测试芯片的出光端相对设置，所述积分球用于检测所述待测试芯片在不同强度电流作用的第一光强度信号；

设置于所述第一平台上的第二测试机构，包括偏振分光棱镜、准直透镜、第一调节组件和第二调节组件，所述准直透镜设置于所述第二调节组件上，所述偏振分光棱镜设置于所述第一调节组件，所述第二调节组件用于调节所述准直透镜的位置，所述第一调节组件用于调节所述偏振分光棱镜的位置，以使得所述待测试芯片的出光端、所述准直透镜、所述偏振分光棱镜和所述积分球的入光口位于同一直线上，且所述准直透镜位于所述待测试芯片的出光端和所述偏振分光棱镜之间，所述偏振分光棱镜位于所述准直透镜和所述积分球的入光口之间，所述积分球还用于在所述待测试芯片的出光端、所述准直透镜、所述偏振分光棱镜和所述积分球的入光口位于同一直线上时，检测所述待测试芯片在不同强度电流作用下的第五光强度信号；

设置于所述第一平台上的第三测试机构，包括第一传感器、第二传感器、第一旋转组件和第二旋转组件，所述第一传感器安装于所述第一旋转组件上，所述第二传感器安装于所述第二旋转组件上，所述第一传感器和所述第二传感器沿垂直于所述待测试芯片的光束方向布置，所述第一旋转组件用于驱动所述第一传感器沿第一弧线摆动，所述第一传感器用于检测沿第一弧线摆动过程中各位置的第三光强度信息，所述第二旋转组件用于驱动所述第二传感器沿第二弧线摆动，所述第二传感器用于检测沿第二弧线摆动过程中各位置的第四光强度信号，所述第一弧线所在的平面与所述第二弧线所在的平面垂直布置；

控制器，所述上料机构、所述模拟激光机构、所述第一测试机构、所述第二测试机构和第三测试机构分别与所述控制器连接，所述控制器用于：

接收所述第一光强度信号，并根据所述第一光强度信号计算所述待测试芯片在不同强度电流作用下的裸测功率，所述裸测功率是指所述偏振分光棱镜和所述准直透镜远离所述待测试芯片的出光端时，测试所得的功率；接收所述第五光强度信号，根据所述第五光强度信号计算所述待测试芯片在不同强度电流作用下的测试功率；

接收第三光强度信号和第四光强度信号，根据所述第三光强度信号和第四光强度信号计算所述待测试芯片发出的激光束的发散角；

根据所述裸测功率和测试功率计算所述待测试芯片的偏振度；

并根据所述裸测功率、所述偏振度和所述发散角判断所述待测试芯片是否合格，并输出测试结果。

2.根据权利要求1所述的芯片测试系统，其特征在于，所述工作台包括第一底座、驱动部和夹持部，所述第一底座上设置有凸台，所述凸台的面积与所述待测试芯片的面积适配，所述凸台用于放置所述待测试芯片；

所述夹持部包括对称设置于所述凸台两侧的第一子部和第二子部，所述第一子部和第二子部靠近所述凸台的一侧具有与所述待测试芯片侧壁形状适配的接触面，所述驱动部与所述第一子部和第二子部连接，所述驱动部用于驱动所述第一子部和第二子部夹持固定所述待测试芯片。

3.根据权利要求2所述的芯片测试系统，其特征在于，所述冷却组件包括水冷板和半导体制冷片，所述水冷板与所述第一底座连接，所述半导体制冷片被夹持固定于所述水冷板和所述第一底座之间，所述半导体制冷片的冷面与第一底座远离所述凸台的一面贴合，所述半导体制冷片的热面与所述水冷板贴合。

4.根据权利要求1所述的芯片测试系统，其特征在于：所述第一测试机构还包括第二直线模组和第二滑动部，所述第二直线模组安装于所述第一平台上，所述积分球通过所述第二滑动部滑动安装于所述第二直线模组上，所述第二直线模组用于驱动所述积分球向靠近或远离所述工作台一侧移动。