[发明专利]一种低压低漏电流单向保护器件及其制备方法在审
| 申请号： | 202111659083.1 | 申请日： | 2021-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN114388631A | 公开（公告）日： | 2022-04-22 |
| 发明（设计）人： | 张鹏;宋文龙;杨珏琳;王志明 | 申请（专利权）人： | 江苏吉莱微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/861 | 分类号： | H01L29/861;H01L29/06;H01L21/329 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 查鑫利 |
| 地址： | 226200 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种低压低漏电流单向保护器件及其制备方法，制备方法包括：制备N型衬底材料；制备N型外延层；生长一层牺牲氧化层，正面光刻形成P型扩散区图形，正面硼注入，硼推进；正面光刻形成N+扩散区图形，正面磷注入；正面光刻形成P+扩散区图形，正面硼注入，硼推进，形成N+扩散区、P+扩散区；正面淀积隔离介质层，正面光刻形成接触孔区；正面溅射或蒸发金属，合金；背面减薄，背面金属。发明在P型扩散区上方引入P+扩散区，P+扩散区的光刻间距为L，设计L的尺寸，使得由P+扩散区、N型外延层、P+扩散区组成的PNP结构在击穿电压3.3‑6V实现穿通，达到低压低漏电流的要求，通过优化N型外延层的浓度与光刻间距L的尺寸，可以获得小于1uA的漏电流。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压低 漏电 单向 保护 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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