[发明专利]高效散热型半导体激光器及其制作方法在审
| 申请号： | 202111658541.X | 申请日： | 2021-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN114336266A | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 张建伟;周寅利;张卓;陈超;宁永强;王立军 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | H01S5/02345 | 分类号： | H01S5/02345;H01S5/024;H01S5/026 |
| 代理公司： | 长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙) 22218 | 代理人： | 高一明 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明提供一种高效散热型半导体激光器及其制作方法，其中的半导体激光器包括衬底，在衬底上依次制备形成导电层、下波导结构层、发光层和上波导结构层，在上波导结构层上制备形成上电极，在导电层上制备形成下电极，在衬底内刻蚀形成供制冷液体流动的微通道，在衬底的底部键合有将制冷液体密封在微通道内的键合材料层。本发明将供制冷液体流动的微通道制备在衬底的内部，缩短制冷液体与发光层之间的距离，从而提高发光层的散热速度。 | ||
| 搜索关键词： | 高效 散热 半导体激光器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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