[发明专利]一种晶圆激光赋码方法和晶圆激光赋码系统在审
| 申请号： | 202111639672.3 | 申请日： | 2021-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN114192992A | 公开（公告）日： | 2022-03-18 |
| 发明（设计）人： | 丘国雄;贾富强;陈银榕;冯涣;李巍伟;叶泽群 | 申请（专利权）人： | 南光高科（厦门）激光科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/362 | 分类号： | B23K26/362;B23K26/142;B23K26/064;B23K26/03;B23K26/70;H01L21/67 |
| 代理公司： | 天津盈佳知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12224 | 代理人： | 孙宝芸 |
| 地址： | 361021 福建省厦门市集*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种晶圆激光赋码方法和晶圆激光赋码系统，所述晶圆激光赋码方法包括步骤：将晶圆的待赋码面朝向激光光束的传输方向；通过赋码软件，建立赋码文档，在赋码文档内设定赋码内容；将赋码文档导入图像处理软件，确定赋码位置；通过激光光束对赋码位置进行激光赋码加工；其加工过程无耗材、无污染、成本更低廉、防伪性更好；利用高能量密度的激光光束作用在晶圆表面或者内部形成超精细的标记；属于非接触加工，无机械应力，能有效的提升产品质量；可以通过机器视觉定位赋码，对位精度高，在加工平面范围内夹具可以随意角度摆放，赋码位置一致性好，大大提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 方法 系统 | ||
【主权项】：
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