[发明专利]一种晶圆激光赋码方法和晶圆激光赋码系统

权利要求书

1.一种晶圆激光赋码方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤S01，将所述晶圆的待赋码面朝向激光光束的传输方向；

步骤S02，通过赋码软件，建立赋码文档，在所述赋码文档内设定赋码内容；

步骤S03，将所述赋码文档导入图像处理软件，确定赋码位置；

步骤S04，通过激光光束对所述赋码位置进行激光赋码加工。

2.如权利要求1所述的晶圆激光赋码方法，其特征在于，步骤S011中，通过调节所述激光光束的激光光源与所述晶圆的所述待赋码面之间的距离，实现调整所述激光光束作用在所述晶圆的所述待赋码面上的激光光斑的尺寸。

3.如权利要求1所述的晶圆激光赋码方法，其特征在于，步骤S02中，在所述赋码文档中设定所述赋码内容的填充方式、填充间距、填充角度与激光参数。

4.如权利要求3所述的晶圆激光赋码方法，其特征在于，步骤S03中，先将所述晶圆置于视觉识别区域，然后再将所述赋码文档导入图像处理软件，再将所述赋码内容移动到所述赋码位置，创建视觉定位模板，确定赋码位置。

5.如权利要求1所述的晶圆激光赋码方法，其特征在于，步骤S04中，通过激光光束对所述赋码位置进行激光赋码加工的同时，抽走激光赋码加工过程产生的粉尘。

6.一种如权利要求1-5中任一项所述的晶圆激光赋码方法用晶圆激光赋码系统，其特征在于，所述晶圆激光赋码系统包括：

激光光源，用于发出激光赋码加工用所述激光光束；

工控机，用于安装所述赋码软件和所述图像处理软件，所述赋码软件用于控制所述的填充方式、填充间距、填充角度及所述激光参数，所述图像处理软件用于确定所述赋码位置。

7.如权利要求6所述的晶圆激光赋码系统，其特征在于，所述激光光源安装在距离调节装置上，所述距离调节装置用于调节所述激光光束的激光光源与所述晶圆的所述待赋码面之间的距离，实现调整所述激光光束作用在所述晶圆的所述待赋码面上的激光光斑的尺寸。

8.如权利要求6所述的晶圆激光赋码系统，其特征在于，所述晶圆激光赋码系统包括机器视觉系统，所述机器视觉系统包相机、光学镜头和图像采集卡；所述光学镜头安装在所述相机的入射光一侧，所述相机用于获取所述赋码内容的原始图像信息，所述光学镜头用于确定对所述赋码内容的成像范围和成像放大倍数；所述图像采集卡用于连接所述相机和工控机、采集所述相机拍摄的图像信息，且将所述图像信息转换成所述工控机可处理的信息数据，再将所述信息数据传送至所述工控机；所述机器视觉系统安装图像处理软件，所述图像处理软件用于将采集的所述数据信息和标定模板进行对比处理，确定赋码位置。

9.如权利要求6所述的晶圆激光赋码系统，其特征在于，所述机器视觉系统安装在距离调节装置上，所述距离调节装置用于调节所述机器视觉系统与所述晶圆的所述待赋码面之间的距离。

10.如权利要求6所述的晶圆激光赋码系统，其特征在于，所述晶圆激光赋码系统设置烟尘净化器。