[发明专利]用于高动态范围样品分析的带电粒子显微镜系统和聚类过程在审
| 申请号： | 202111636802.8 | 申请日： | 2021-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN114764068A | 公开（公告）日： | 2022-07-19 |
| 发明（设计）人： | M·J·欧文;C·莱维恩;G·豪厄尔;T·图马 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | G01N23/00 | 分类号： | G01N23/00;G01N23/20091;G01N23/2251;G06T7/11;G06T7/70;G06K9/62;G06V10/762 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 黄涛;周学斌 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 用于使用聚类过程进行高动态范围（HDR）带电粒子分析的方法和系统包含访问样品的某一区域的多个图像数据实例，其中每个图像数据实例是通过带电粒子显微镜用不同参数捕获的。参数差异可以包含对比度差异、亮度差异、束强度差异、束类型差异、γ差异和/或其组合中的一种或多种。然后，使用所捕获图像数据生成HDR带电粒子显微术数据结构，并且基于所述HDR带电粒子显微术数据结构识别所述样品的一个或多个特征。在根据本发明的一些方法中，所述方法进一步包含基于所确定的一个或多个所识别特征对所述样品执行EDS分析。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 动态 范围 样品 分析 带电 粒子 显微镜 系统 过程 | ||
【主权项】：
暂无信息
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