[发明专利]用于高动态范围样品分析的带电粒子显微镜系统和聚类过程

权利要求书

1.一种用于使用聚类过程执行HDR带电粒子分析的方法，所述方法包括：

访问样品的某一区域的第一图像的第一图像数据，所述第一图像数据已通过带电粒子显微镜获得，并且所述第一图像数据已用第一参数配置获得；

访问所述样品的所述区域的第二图像的第二图像数据，所述第二图像数据已通过所述带电粒子显微镜系统获得，并且所述第二数据已用不同于所述第一参数配置的第二参数配置获得；

使用所述第一图像数据和所述第二图像数据生成HDR带电粒子显微术数据结构；以及

基于所述HDR带电粒子显微术数据结构识别所述样品的一个或多个特征。

2.根据权利要求1所述的方法，其中构造所述HDR带电粒子显微术数据结构包括：

将所述第一图像数据转换为第一带电粒子图像；

将所述第二数据转换为第二带电粒子图像；以及

将HDR算法应用于所述第一图像和所述第二图像以生成HDR带电粒子图像。

3.根据权利要求1所述的方法，其中构造所述HDR带电粒子显微术数据结构包括生成多维数据结构，其中来自每个图像的单独值与对应像素位置相关联地存储在所述多维数据结构中。

4.根据权利要求3所述的方法，其中识别所述样品的所述一个或多个特征包括将分割算法应用于所述多维数据结构。

5.根据权利要求4所述的方法，其中所述分割算法进一步基于与对应单独像素位置周围的另外的像素位置相关联的另外的值生成所述HDR带电粒子图像的单独像素位置的HDR像素值。

6.根据权利要求1到5中任一项所述的方法，其中基于所述HDR带电粒子显微术数据结构识别所述样品的所述一个或多个特征对应于确定所述样品中的材料转变。

7.根据权利要求6所述的方法，其进一步包括基于所述样品中的所确定材料转变生成所述样品的经分割HDR图像。

8.根据权利要求1到5中任一项所述的方法，其中所述第一图像数据和所述第二图像数据是通过所述带电粒子显微镜顺序获取的，并且其中在所述第一图像数据的获取与所述第二图像数据的获取之间，所述带电粒子显微镜的配置从第一参数改变为第二参数。

9.根据权利要求1到5中任一项所述的方法，其中所述第一图像数据和所述第二图像数据是并行获取的。

10.根据权利要求1到5中任一项所述的方法，其进一步包括基于所识别的一个或多个特征对所述样品进行EDS分析，其中所述EDS分析包括：

确定单个材料沉积物内的点；以及

通过照射所确定的点对所述单个材料沉积物进行EDS分析。