[发明专利]读数头安装工装及其集成方法、读数头安装方法在审
申请号: | 202111597218.6 | 申请日: | 2021-12-24 |
公开(公告)号: | CN114279338A | 公开(公告)日: | 2022-04-05 |
发明(设计)人: | 付大为;解昊;焦健 | 申请(专利权)人: | 北京华卓精科科技股份有限公司 |
主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02;G01B21/00 |
代理公司: | 北京荟英捷创知识产权代理事务所(普通合伙) 11726 | 代理人: | 王献茹 |
地址: | 100176 北京市大兴区北京经济技术开发区科创*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及光栅测量领域,具体而言,涉及一种读数头安装工装及其集成方法、读数头安装方法。读数头安装工装包括基板、若干平面光栅和微调组件;基板用于安装到工件台的读数头安装盘上,微调组件安装于基板,平面光栅安装于微调组件,微调组件至少用于调节平面光栅相对基板的位姿,平面光栅与读数头安装盘上的读数头一一对应。读数头安装工装的集成方法,用于实现上述读数头安装工装的集成装配。读数头安装方法,应用上述读数头安装工装实现读数头的精准安装。本发明提供的读数头安装工装及其集成方法、读数头安装方法,可提高读数头的安装精度及安装一致性,从而,保证了对双工件台、调平调焦、硅片对准等分系统的定位精度。 | ||
搜索关键词: | 读数 安装 工装 及其 集成 方法 | ||
【主权项】:
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