[发明专利]读数头安装工装及其集成方法、读数头安装方法

说明书

本发明涉及光栅测量领域，具体而言，涉及一种读数头安装工装及其集成方法、读数头安装方法。读数头安装工装包括基板、若干平面光栅和微调组件；基板用于安装到工件台的读数头安装盘上，微调组件安装于基板，平面光栅安装于微调组件，微调组件至少用于调节平面光栅相对基板的位姿，平面光栅与读数头安装盘上的读数头一一对应。读数头安装工装的集成方法，用于实现上述读数头安装工装的集成装配。读数头安装方法，应用上述读数头安装工装实现读数头的精准安装。本发明提供的读数头安装工装及其集成方法、读数头安装方法，可提高读数头的安装精度及安装一致性，从而，保证了对双工件台、调平调焦、硅片对准等分系统的定位精度。

技术领域

本发明涉及光栅测量领域，具体而言，涉及一种读数头安装工装及其集成方法、读数头安装方法。

背景技术

工件台的位移主要是依靠工件台平面光栅测量系统来测量的，因此，工件台平面光栅位置测量系统的测量精度直接会影响到工件台定位精度，而读数头是工件台平面光栅位置测量系统的主要部件，其安装位置的精度，直接影响着测量精度。

现有工件台平面光栅位置测量系统中的读数头在安装时，只能通过螺钉与工件台卡盘安装定位，读数头安装孔的加工精度决定了读数头的安装精度，由于工件台卡盘读数头安装孔位的加工误差及读数头安装误差的影响，读数头与工件台的相对安装精度较低，一致性较差，直接影响了工件台平面光栅位置测量系统的测量信号强度，对双工件台、调平调焦、硅片对准等分系统的定位精度产生了严重影响。

综上，如何克服现有的读数头安装方法的上述缺陷是本领域技术人员亟待解决的技术问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种读数头安装工装及其集成方法、读数头安装方法，以缓解现有技术中读数头安装方法存在的读数头与工件台的相对安装精度较低，一致性较差的技术问题。

本发明提供的读数头安装工装，包括基板、平面光栅和微调组件；

所述基板用于安装到工件台的读数头安装盘上，所述微调组件安装于所述基板，所述微调组件安装于所述基板的边缘部位，所述平面光栅安装于所述微调组件，所述微调组件用于调节所述平面光栅与所述基板的相对位置及平行度，所述平面光栅与读数头安装盘上的读数头一一对应。

与现有技术相比，本发明的有益效果在于：

本发明提供的读数头安装工装，可利用微调组件对平面光栅相对基板的位姿进行调节，使得平面光栅相对基板的位置及姿态符合精度要求，此时，各个平面光栅位于同一平面上，且各个平面光栅相对基板在垂直于基板的方向上的间距相同，各个平面光栅的栅线走向符合要求。

在基板安装到工件台的读数头安装盘上之后，平面光栅能够为安装于读数头安装盘的读数头的信号提供高精度的参考基准，以对读数头进行调节，如此，即便读数头安装孔位存在误差，也能通过调节读数头，使读数头的位姿调节到符合安装精度的范围内，从而，利用本发明提供的读数头安装工装调试好的读数头，安装精度及一致性较高，保证了对双工件台、调平调焦、硅片对准等分系统的定位精度。

优选地，作为一种可实施方式，所述微调组件包括安装座、线性调整滑台、转接座和转角调整滑台。

所述线性调整滑台的一侧与所述安装座固定连接，所述转接座与所述线性调整滑台的另一侧固定连接，所述转角调整滑台安装于所述转接座，所述平面光栅固定于所述转角调整滑台的转动台面，所述安装座固定于所述基板。

优选地，作为一种可实施方式，所述线性调整滑台包括第一固定台、移动台和锁紧组件，所述第一固定台与所述安装座固定连接，所述移动台与所述转接座固定连接。

所述第一固定台与所述移动台之间连接有位移调节螺栓，所述位移调节螺栓用于调节所述移动台相对所述第一固定台的位移；所述锁紧组件用于将所述移动台锁紧到所述第一固定台上。