[发明专利]读数头安装工装及其集成方法、读数头安装方法

权利要求书

1.一种读数头安装工装，其特征在于，包括基板(1100)、若干平面光栅(1300)和微调组件(1200)；

所述基板(1100)用于安装到工件台的读数头安装盘(2000)上，所述微调组件(1200)安装于所述基板(1100)，所述平面光栅(1300)安装于所述微调组件(1200)，所述微调组件(1200)至少用于调节所述平面光栅(1300)相对所述基板(1100)的位姿，所述平面光栅(1300)与读数头安装盘(2000)上的读数头(3000)一一对应。

2.根据权利要求1所述的读数头安装工装，其特征在于，所述微调组件(1200)包括安装座(1210)、线性调整滑台(1220)、转接座(1230)和转角调整滑台(1240)；

所述线性调整滑台(1220)的一侧与所述安装座(1210)固定连接，所述转接座(1230)与所述线性调整滑台(1220)的另一侧固定连接，所述转角调整滑台(1240)安装于所述转接座(1230)，所述平面光栅(1300)固定于所述转角调整滑台(1240)的转动台面，所述安装座(1210)固定于所述基板(1100)。

3.根据权利要求2所述的读数头安装工装，其特征在于，所述线性调整滑台(1220)包括第一固定台(1221)、移动台(1222)和锁紧组件(1223)，所述第一固定台(1221)与所述安装座(1210)固定连接，所述移动台(1222)与所述转接座(1230)固定连接；

所述第一固定台(1221)与所述移动台(1222)之间连接有位移调节螺栓，所述位移调节螺栓用于调节所述移动台(1222)相对所述第一固定台(1221)的位移；所述锁紧组件(1223)用于将所述移动台(1222)锁紧到所述第一固定台(1221)上。

4.根据权利要求3所述的读数头安装工装，其特征在于，所述位移调节螺栓包括Z向调节螺栓(1224)，所述Z向调节螺栓(1224)的长度方向与所述基板(1100)垂直，所述第一固定台(1221)的边缘部位设置有第一侧耳(1225)，所述第一侧耳(1225)上开设有第一螺纹孔，所述移动台(1222)的边缘部位设置有第一调节板(1226)，所述Z向调节螺栓(1224)与所述第一螺纹孔配合，所述Z向调节螺栓(1224)的尾端与所述第一调节板(1226)抵接；

和/或，所述位移调节螺栓包括Y向调节螺栓(1227)，所述Y向调节螺栓(1227)的长度方向与所述基板(1100)的板面平行，所述第一固定台(1221)的边缘部位设置有第二侧耳(1228)，所述第二侧耳(1228)上开设有第二螺纹孔，所述移动台(1222)的边缘部位设置有第二调节板(1229)，所述Y向调节螺栓(1227)与所述第二螺纹孔配合，所述Y向调节螺栓(1227)的尾端与所述第二调节板(1229)抵接。

5.根据权利要求2所述的读数头安装工装，其特征在于，所述转角调整滑台(1240)包括第二固定台(1241)和转动台(1242)，所述第二固定台(1241)与所述转接座(1230)固定连接；所述转动台(1242)与所述第二固定台(1241)相对设置，且所述转动台(1242)与所述第二固定台(1241)之间连接有弹性连接件，所述平面光栅(1300)安装于所述转动台(1242)的背对所述第二固定台(1241)的台面；

所述第二固定台(1241)与所述转动台(1242)之间设置有转角调节螺栓，所述转角调节螺栓用于调节所述转动台(1242)相对所述第二固定台(1241)的偏转角度。