[发明专利]基于电容检测原理的MEMS六轴力传感器芯片及其制备方法有效
| 申请号： | 202111592764.0 | 申请日： | 2021-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN114279613B | 公开（公告）日： | 2022-11-11 |
| 发明（设计）人： | 赵立波;谭仁杰;黄琳雅;韩香广;高文迪;李敏;董林玺;王李;杨萍;王永录;蒋庄德 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学;杭州电子科技大学 |
| 主分类号： | G01L5/165 | 分类号： | G01L5/165;B81B7/02 |
| 代理公司： | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人： | 贺建斌 |
| 地址： | 710049 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 一种基于电容检测原理的MEMS六轴力传感器芯片及其制备方法，芯片由载荷传递层、绝缘层、梳齿电容层和玻璃层由上向下组合而成，层间通过硅‑玻阳极键合和硅‑硅键合连接为一个整体；载荷传递层包括载荷传递层固定区和通过T型梁连接的载荷传递层中心刚体；绝缘层包括绝缘层固定区和其内部的可移动区；梳齿电容层包括梳齿动极板电极、梳齿电容、梳齿电容层中心刚体、梳齿定极板电极、Z型导电支撑梁和隔离沟道；玻璃层包括玻璃腔体、以及制备在玻璃腔体上的平板电容极板、内部电极焊盘、金属引线和外部焊盘；本发明芯片在工作时，能够检测六个方向上的力和力矩，具有量程大、灵敏度高、交叉轴灵敏度小和体积小等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 电容 检测 原理 mems 六轴力 传感器 芯片 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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