[发明专利]一种全稳定四方YSZ靶材及超长寿命EB-PVD涂层的制备方法有效

专利信息
申请号: 202111583430.7 申请日: 2021-12-22
公开(公告)号: CN114315348B 公开(公告)日: 2023-06-30
发明(设计)人: 王欣;江阔;薛敏;王杰;赖晓萍 申请(专利权)人: 西南科技大学
主分类号: C04B35/488 分类号: C04B35/488;C04B35/622;C04B35/626;B28B3/00;C23C14/30;C23C14/08;C23C14/02
代理公司: 绵阳远卓弘睿知识产权代理事务所(普通合伙) 51371 代理人: 张忠庆
地址: 621010 四川*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明公开了一种全稳定四方YSZ靶材及超长寿命EB‑PVD涂层的制备方法,包括:将全稳定四方YSZ粉末、氧化锆球、PVA1799水溶液、正辛醇、柠檬酸铵和水加入球磨罐中球磨;将球磨浆料在砂磨机上进行砂磨,烘干;将干燥粉末加入球磨罐中,加入氧化锆球和水,球磨干磨,烘干、筛分;加入耐酸碱塑料桶中,在阴凉通风干燥处陈化;然后装入模具中,振实后低压成型,得到生坯;将低压成型获得的生坯进行冷等静压,得到致密度更高的生坯,干燥;将干燥后的生坯烧结,得到电子束物理气相沉积热障涂层用全稳定四方YSZ靶材。该全稳定四方YSZ靶材为100%四方相,其中YO1.5浓度为7~8.7mol%,密度为3.4~4.2g/cm3,靶材无裂纹及孔洞等明显缺陷,靶材断口均匀,显微孔隙大小及分布均匀。
搜索关键词: 一种 稳定 四方 ysz 超长 寿命 eb pvd 涂层 制备 方法
【主权项】:
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