[发明专利]一种全稳定四方YSZ靶材及超长寿命EB-PVD涂层的制备方法有效
申请号: | 202111583430.7 | 申请日: | 2021-12-22 |
公开(公告)号: | CN114315348B | 公开(公告)日: | 2023-06-30 |
发明(设计)人: | 王欣;江阔;薛敏;王杰;赖晓萍 | 申请(专利权)人: | 西南科技大学 |
主分类号: | C04B35/488 | 分类号: | C04B35/488;C04B35/622;C04B35/626;B28B3/00;C23C14/30;C23C14/08;C23C14/02 |
代理公司: | 绵阳远卓弘睿知识产权代理事务所(普通合伙) 51371 | 代理人: | 张忠庆 |
地址: | 621010 四川*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: |
本发明公开了一种全稳定四方YSZ靶材及超长寿命EB‑PVD涂层的制备方法,包括:将全稳定四方YSZ粉末、氧化锆球、PVA1799水溶液、正辛醇、柠檬酸铵和水加入球磨罐中球磨;将球磨浆料在砂磨机上进行砂磨,烘干;将干燥粉末加入球磨罐中,加入氧化锆球和水,球磨干磨,烘干、筛分;加入耐酸碱塑料桶中,在阴凉通风干燥处陈化;然后装入模具中,振实后低压成型,得到生坯;将低压成型获得的生坯进行冷等静压,得到致密度更高的生坯,干燥;将干燥后的生坯烧结,得到电子束物理气相沉积热障涂层用全稳定四方YSZ靶材。该全稳定四方YSZ靶材为100%四方相,其中YO |
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搜索关键词: | 一种 稳定 四方 ysz 超长 寿命 eb pvd 涂层 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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