[发明专利]一种用于多波长边发射半导体激光器的外延结构在审
| 申请号: | 202111582516.8 | 申请日: | 2021-12-22 |
| 公开(公告)号: | CN114400505A | 公开(公告)日: | 2022-04-26 |
| 发明(设计)人: | 任占强;王琛琛;李青民;李波;徐斌;孟锡俊;仇伯仓;李会利;杜美本;杨欢 | 申请(专利权)人: | 西安立芯光电科技有限公司 |
| 主分类号: | H01S5/34 | 分类号: | H01S5/34;H01S5/343 |
| 代理公司: | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人: | 郑丽红 |
| 地址: | 710077 陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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| 摘要: | 本发明提供一种用于多波长边发射半导体激光器的外延结构,主要解决现有多波长激光器光路复杂、结构复杂以及成本较高的问题。该外延结构包括由下至上依次设置的N型衬底、出射波长为λ1的量子阱单元、第一陷阱隧道结、出射波长为λ2的量子阱单元、第二陷阱隧道结、出射波长为λ3的量子阱单元和P型接触层;第一陷阱隧道结用于调制出射波长为λ1的量子阱单元、出射波长为λ2的量子阱单元激射的光场;第二陷阱隧道结用于调制出射波长为λ2的量子阱单元、出射波长为λ3的量子阱单元激射的光场;第一陷阱隧道结和第二陷阱隧道结均包括由下至上依次设置的P型陷阱层、P型重掺杂层、N型重掺杂层和N型陷阱层。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 用于 波长 发射 半导体激光器 外延 结构 | ||
【主权项】:
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