[发明专利]一种透射电镜样品的制备方法在审
| 申请号： | 202111579672.9 | 申请日： | 2021-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN114279784A | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 马旭文;季春葵;郑朝晖 | 申请（专利权）人： | 上海季丰电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28;G01N23/20008 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 王风茹 |
| 地址： | 201199 上海市闵行*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种透射电镜样品的制备方法，包括：将载网和样品水平放置于样品台表面，并焊接样品至载网上；调整载网和样品与样品台表面垂直，沿第一方向对样品的第一表面进行切割，以减薄样品的第二表面；调整载网和样品与样品台表面平行，并将样品从载网上取下；调整载网与样品台表面垂直；重新焊接样品至载网上，沿第一方向对样品的第二表面进行切割，以减薄样品的第一表面，直至样品暴露待检测位置。本发明实施例提供的技术方案，在透射电镜样品的制备过程中，通过改变载网与样品台的相对位置，实现对于样品多个表面的观察与切割，提高切割的准确性；另外，通过旋转载网的方式调整切割面，无需技术人员调整样品位置，操作简单、容易实现。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 透射 样品 制备 方法 | ||
【主权项】：
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