[发明专利]一种具有应力补偿功能的MEMS加速度计

摘要

本发明涉及一种具有应力补偿功能的MEMS加速度计，包括由上至下按序层叠设置的上方硅帽层、平面结构层及下方硅衬底层，所述平面结构层包括沿Z轴运动的质量块及至少分布在质量块一侧的检测电极，所述质量块与检测电极构成一对平行板电容；在所述质量块同一层结构上设置有不敏感输入加速度的结构，通过结构与两个检测电极分别构成两组应力检测电容，以实现对封装应力的测量；并通过两组应力检测电容构成一对差分电容，其输出的电容差分变化量为ΔCσ，本发明能够大幅提高Z轴MEMS加速度计的温度特性，有效降低了封装应力对器件性能的影响。