[发明专利]一种在电极表面不同区域同时电沉积不同成分比例薄膜的方法有效
申请号: | 202111562919.6 | 申请日: | 2021-12-20 |
公开(公告)号: | CN114059118B | 公开(公告)日: | 2023-04-07 |
发明(设计)人: | 吴敏娴;李珺;王世颖;王文昌;陈智栋 | 申请(专利权)人: | 常州大学 |
主分类号: | C25D5/02 | 分类号: | C25D5/02;C25D5/00;C25D21/12 |
代理公司: | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258 | 代理人: | 李楠 |
地址: | 213164 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明提供了一种在电极表面不同区域同时电沉积不同成分比例薄膜的方法,属于材料制备技术领域。本发明利用外加磁场阵列,调控沉积基底表面附近局部区域的液相传质行为,从而使梯度磁场阵列作用区域沉积薄膜组分与无梯度磁场区域不同,实现组分不同的材料在基底不同区域的同步电沉积。本发明提出工艺可应用与低维材料制备及电子器件制备。 | ||
搜索关键词: | 一种 电极 表面 不同 区域 同时 沉积 成分 比例 薄膜 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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