[发明专利]一种在电极表面不同区域同时电沉积不同成分比例薄膜的方法

权利要求书

1.一种在电极表面不同区域同时电沉积不同成分比例薄膜的方法，其特征在于：所述方法适用于合金电沉积，包括如下步骤：

（1）根据电极基底表面的薄膜成分分布，将电极基底表面划分为梯度磁场施加区域和非梯度磁场施加区域；

（2）制备梯度磁场模板，所述梯度磁场模板上分布有铁磁性金属或合金，且铁磁性金属或合金构建成所需图形；

（3）磁场电沉积，将梯度磁场模板置于主磁体中，梯度磁场模板上分布的铁磁性金属或合金磁化，产生垂直于电极基底且平行于电流方向的梯度磁场，梯度磁场在电沉积过程中持续或间歇发生；

步骤（2）中梯度磁场模板还包括树脂基板，所述铁磁性金属或合金按所需图形嵌装在树脂基板内；

步骤（3）中以电极基底作为阴极，并将梯度磁场模板贴装在电极基底上，然后整体放入电解槽内，控制梯度磁场模板与电解槽的内壁贴合，同时电极基底背离梯度磁场模板的一侧与阳极相对且相互平行，梯度磁场模板一侧的电解槽外壁上放置有铁钕硼永磁体，电解槽内装有电解液，电解液中含有至少一种具有顺磁性的元素，然后在阴极和阳极间施加恒电压，进行所述磁场电沉积过程。