[发明专利]一种分子束外延专用气液分离器在审
| 申请号： | 202111561767.8 | 申请日： | 2021-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN114272688A | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 隗忠元 | 申请（专利权）人： | 武汉克莱澳科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D45/08 | 分类号： | B01D45/08 |
| 代理公司： | 深圳市创富知识产权代理有限公司 44367 | 代理人： | 曾敬 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市武昌*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种分子束外延专用气液分离器，包括有呈卧式状的气液分离器罐体，所述气液分离器罐体端部设置有进液口和排气口，所述进液口上连通设置有向气液分离器罐体内部水平延伸的进液内管，所述排气口上连通设置有向气液分离器罐体内部水平延伸的内排气管，所述内排气管位于气液分离器罐体的内顶部；所述气液分离器罐体底部设置有与其内部连通的出液口和分子束外延排气进口，所述分子束外延排气进口上连通设置有向气液分离器罐体内部竖直向上延伸的分子束外延排气内管。本分离装置在向分子束外延设备输送液氮的同时，也能够将从分子束外延设备输出的汽化氮气由气液分离器罐体排出。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 分子 外延 专用 分离器 | ||
【主权项】：
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