[发明专利]一种分子束外延专用气液分离器在审
| 申请号： | 202111561767.8 | 申请日： | 2021-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN114272688A | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 隗忠元 | 申请（专利权）人： | 武汉克莱澳科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D45/08 | 分类号： | B01D45/08 |
| 代理公司： | 深圳市创富知识产权代理有限公司 44367 | 代理人： | 曾敬 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市武昌*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 分子 外延 专用 分离器 | ||
1.一种分子束外延专用气液分离器，其特征在于，包括有呈卧式状的气液分离器罐体(11)，所述气液分离器罐体(11)端部设置有进液口(16)和排气口(13)，所述进液口(16)上连通设置有向气液分离器罐体(11)内部水平延伸的进液内管(6)，所述排气口(13)上连通设置有向气液分离器罐体(11)内部水平延伸的内排气管(4)，所述内排气管(4)位于气液分离器罐体(11)的内顶部；所述气液分离器罐体(11)底部设置有与其内部连通的出液口(2)和分子束外延排气进口(3)，所述分子束外延排气进口(3)上连通设置有向气液分离器罐体(11)内部竖直向上延伸的分子束外延排气内管(9)。
2.根据权利要求1所述的一种分子束外延专用气液分离器，其特征在于：所述气液分离器罐体(11)内部横向设置有防排液挡板(7)；所述内排气管(4)位于防排液挡板(7)上方，所述进液内管(6)位于防排液挡板(7)下方，且所述进液内管(6)的出液口向下出液设置；所述分子束外延排气内管(9)的出气口位于防排液挡板(7)上方。
3.根据权利要求2所述的一种分子束外延专用气液分离器，其特征在于：在所述内排气管(4)进气口处设置有排气管挡板(5)，所述排气管挡板(5)与内排气管(4)进气口呈间隙设置。
4.根据权利要求1所述的一种分子束外延专用气液分离器，其特征在于：所述气液分离器罐体(11)内设置有真空层(8)，所述气液分离器罐体(11)底部设置有抽真空嘴(1)，所述抽真空嘴(1)与真空层(8)连通设置。
5.根据权利要求1所述的一种分子束外延专用气液分离器，其特征在于：在所述所述气液分离器罐体(11)端部设置的液位检测高低压口(14)，液位检测高低压口(14)处向罐体内伸入设置有压差传感器，所述压差传感器的信号输出端与控制器(15)的信号输入端连通设置。
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