[发明专利]一种分子束外延专用气液分离器

说明书

本发明公开了一种分子束外延专用气液分离器，包括有呈卧式状的气液分离器罐体，所述气液分离器罐体端部设置有进液口和排气口，所述进液口上连通设置有向气液分离器罐体内部水平延伸的进液内管，所述排气口上连通设置有向气液分离器罐体内部水平延伸的内排气管，所述内排气管位于气液分离器罐体的内顶部；所述气液分离器罐体底部设置有与其内部连通的出液口和分子束外延排气进口，所述分子束外延排气进口上连通设置有向气液分离器罐体内部竖直向上延伸的分子束外延排气内管。本分离装置在向分子束外延设备输送液氮的同时，也能够将从分子束外延设备输出的汽化氮气由气液分离器罐体排出。

技术领域

本发明涉及气液分离器技术领域，具体为一种分子束外延专用气液分离器。

背景技术

在半导体芯片制造，分子束外延(MBE)是新发展起来的外延制膜方法，也是一种特殊的真空镀膜工艺。外延是一种制备单晶薄膜的新技术，它是在适当的衬底与合适的条件下，沿衬底材料晶轴方向逐层生长薄膜的方法。分子束外延(MBE)行业中，使用分子束外延(MBE)设备，需要使用液氮气液分离器。分子束外延(MBE)设备使用的工艺条件需要纯液氮环境下芯片的制造，分子束外延(MBE)设备中温度要控制在-193℃±3℃范围内，且分子束外延(MBE)是一个封闭设备，设备内汽化的氮气要及时排出。为满足工艺条件，发明应对分子束外延(MBE)工艺的气液分离器。

发明内容

本发明的目的在于提供一种分子束外延专用气液分离器，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种分子束外延专用气液分离器，包括有呈卧式状的气液分离器罐体，所述气液分离器罐体端部设置有进液口和排气口，所述进液口上连通设置有向气液分离器罐体内部水平延伸的进液内管，所述排气口上连通设置有向气液分离器罐体内部水平延伸的内排气管，所述内排气管位于气液分离器罐体的内顶部；所述气液分离器罐体底部设置有与其内部连通的出液口和分子束外延排气进口，所述分子束外延排气进口上连通设置有向气液分离器罐体内部竖直向上延伸的分子束外延排气内管。

更进一步的，所述气液分离器罐体内部横向设置有防排液挡板；所述内排气管位于防排液挡板上方，所述进液内管位于防排液挡板下方，且所述进液内管的出液口向下出液设置；所述分子束外延排气内管的出气口位于防排液挡板上方。

更进一步的，在所述内排气管进气口处设置有排气管挡板，所述排气管挡板与内排气管进气口呈间隙设置。

更进一步的，所述气液分离器罐体内设置有真空层，所述气液分离器罐体底部设置有抽真空嘴，所述抽真空嘴与真空层连通设置。

更进一步的，在所述所述气液分离器罐体端部设置的液位检测高低压口，液位检测高低压口处向罐体内伸入设置有压差传感器，所述压差传感器的信号输出端与控制器的信号输入端连通设置。

本发明的有益效果是：本装置设置有分子束外延排气进口和分子束外延排气内管，使得在向分子束外延设备输送液氮的同时也能够将汽化氮气排入气液分离罐体后再排出，这样使得分子束外延设备排气及时且便于收集；同时，为了防止排气时由排气压力将液氮带出，增加排气管挡板。防止进液时由于进液压力时产生飞溅液氮从排气口排出，增加的防排液挡板；再者，在气液分离器罐体内壁形成真空层，对气液分离器罐体内起到保温隔热的作用。

附图说明

图1为本发明的气液分离器部分剖面结构示意图；

图2为本发明的气液分离器端部结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。