[发明专利]一种去除铝基材表面的氟化物的清洗方法在审
| 申请号： | 202111549879.1 | 申请日： | 2021-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN114211405A | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 穆帅帅;张代龙 | 申请（专利权）人： | 富乐德科技发展（天津）有限公司 |
| 主分类号： | B24C1/08 | 分类号： | B24C1/08;B24C7/00;B24B1/00;C23G1/12;B08B3/02;B08B3/12 |
| 代理公司： | 天津市新天方专利代理有限责任公司 12104 | 代理人： | 王伟 |
| 地址： | 301712 天津*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明是一种去除铝基材表面的氟化物的清洗方法，包括以下步骤：a来货检查；b纯水浸泡；c异丙醇擦拭；d第一次表面喷砂；e第一次高压水洗；f硝酸和氢氟酸清洗；g纯水浸泡；h表面研磨；i第二次表面喷砂；j表面检查；k第二次高压水洗。本发明使用物理喷砂可以去除表面沉积的氟化物，并减少部件的损耗；使用硝酸和氢氟酸浸泡部件，可以去除部件表面玷污的微量金属；使用表面研磨加表面喷砂处理的方式，可以使部件表面的平面度及粗糙度的均匀性更好；使用超声波清洗和超纯氮气清扫部件表面，可以有效减少表面的颗粒污染物。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 去除 基材 表面 氟化物 清洗 方法 | ||
【主权项】：
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