[发明专利]一种去除铝基材表面的氟化物的清洗方法

权利要求书

1.一种去除铝基材表面的氟化物的清洗方法，其特征在于，包括以下步骤：

a来货检查

对待清洗部件进行表面检查，确认表面有无缺损；

b纯水浸泡

将待清洗的部件浸入纯水中，浸泡30分钟以上；

c异丙醇擦拭

使用无尘布蘸取异丙醇对部件表面进行整体擦拭，擦至无尘布表面没有黑色印痕，对擦拭完毕的部件，使用水枪对部件进行全面冲洗，然后使用气枪将部件表面水分吹扫干净；

d第一次表面喷砂

对加热器部件进行喷砂处理，去除加热器表面氟化物；

e第一次高压水洗

将喷砂完毕的加热器部件放入高压水洗槽中，使用高压水枪对部件进行整体冲洗，冲洗完毕后，使用气枪将部件表面水迹吹干；

f硝酸和氢氟酸清洗

将高压水洗完毕的部件浸入硝酸和氢氟酸的混合溶液中浸泡1-2分钟，然后立即取出，使用纯水进行冲洗；

g纯水浸泡

将部件浸入纯水中浸泡30分钟以上，然后使用压缩空气吹干表面水份；

h表面研磨

使用360#、800#氧化铝磨料的打磨片，研磨加热器表面，保证加热器表面无凸起，至粗糙度达到Ra≤2um；

i第二次表面喷砂

对加热器部件进行喷砂处理，增加加热器表面粗糙度；

j表面检查

依次使用粗糙度测量仪、膜厚测量仪、平面度测量仪测试加热器表面的粗糙度、膜厚、平面度；

k第二次高压水洗

将测量合格的部件转入高压水洗工段，使用高压水枪对加热器部件，进行高压水洗，然后使用压缩空气吹干表面水份；

l超声波清洗

对部件进行超声波清洗；

m氮气吹扫

对冲洗完毕的部件，使用99.999％纯度的氮气进行表面吹扫，去除部件表面的水迹；

n干燥

将吹扫完毕的部件转移至洁净的干燥箱中，使用150℃的温度干燥2个小时，待部件自然冷却后，将部件取出。

2.根据权利要求1所述的去除铝基材表面的氟化物的清洗方法，其特征在于，步骤d中，对加热器部件进行喷砂处理用的喷砂机的参数为：压力：3-4kg/cm²,喷砂枪头离部件距离15-20厘米，角度60-90度；时间：5-10分钟；喷砂介质：氧化铝；粒径：0.06-0.08毫米。

3.根据权利要求1所述的去除铝基材表面的氟化物的清洗方法，其特征在于，步骤i中，对加热器部件进行喷砂处理用的喷砂机的参数为：压力：3-4kg/cm²，喷砂枪头离部件距离15-20厘米，角度60-90度；时间：3-5分钟；喷砂介质：氧化铝；粒径：0.06-0.08毫米。

4.根据权利要求1所述的去除铝基材表面的氟化物的清洗方法，其特征在于，步骤f中，硝酸、氢氟酸和水的体积比为硝酸：氢氟酸：水＝1：1：2。

5.根据权利要求1所述的去除铝基材表面的氟化物的清洗方法，其特征在于，步骤l中，将部件流转至100级洁净间，然后将部件放入超声波清洗槽中，清洗30分钟。

6.根据权利要求5所述的去除铝基材表面的氟化物的清洗方法，其特征在于，超声波清洗的参数如下：超声波频率：40KHz；超声波的功率密度：6-10瓦/平方英寸，槽内纯水保持溢流；溢流流量：20升/分钟。