[发明专利]一种去除铝基材表面的氟化物的清洗方法

说明书

本发明是一种去除铝基材表面的氟化物的清洗方法，包括以下步骤：a来货检查；b纯水浸泡；c异丙醇擦拭；d第一次表面喷砂；e第一次高压水洗；f硝酸和氢氟酸清洗；g纯水浸泡；h表面研磨；i第二次表面喷砂；j表面检查；k第二次高压水洗。本发明使用物理喷砂可以去除表面沉积的氟化物，并减少部件的损耗；使用硝酸和氢氟酸浸泡部件，可以去除部件表面玷污的微量金属；使用表面研磨加表面喷砂处理的方式，可以使部件表面的平面度及粗糙度的均匀性更好；使用超声波清洗和超纯氮气清扫部件表面，可以有效减少表面的颗粒污染物。

技术领域

本发明涉及半导体设备精密备件清洗领域，尤其涉及一种去除铝基材表面的氟化物的清洗方法。

背景技术

目前，应用于半导体制程设备中化学气相沉积工艺腔体中，沉积在备件上的膜质一般都是氧化物和氮化物，针对氧化物和氮化物的清洗工艺已比较成熟，而清洗氧化物和氮化物的清洗溶剂对清洗氟化物的清洗效果较差，并且沉积氟化物的部件基材是铝，铝的耐腐蚀性很差，这就给部件的清洗带来很大困难。

发明内容

本发明旨在解决现有技术的不足，而提供一种去除铝基材表面的氟化物的清洗方法。

本发明为实现上述目的，采用以下技术方案：一种去除铝基材表面的氟化物的清洗方法，包括以下步骤：

a来货检查

对待清洗部件进行表面检查，确认表面有无缺损；

b纯水浸泡

将待清洗的部件浸入纯水中，浸泡30分钟以上；

c异丙醇擦拭

使用无尘布蘸取异丙醇对部件表面进行整体擦拭，擦至无尘布表面没有黑色印痕，对擦拭完毕的部件，使用水枪对部件进行全面冲洗，然后使用气枪将部件表面水分吹扫干净；

d第一次表面喷砂

对加热器部件进行喷砂处理，去除加热器表面氟化物；

e第一次高压水洗

将喷砂完毕的加热器部件放入高压水洗槽中，使用高压水枪对部件进行整体冲洗，冲洗完毕后，使用气枪将部件表面水迹吹干；

f硝酸和氢氟酸清洗

将高压水洗完毕的部件浸入硝酸和氢氟酸的混合溶液中浸泡1-2分钟，然后立即取出，使用纯水进行冲洗；

g纯水浸泡

将部件浸入纯水中浸泡30分钟以上，然后使用压缩空气吹干表面水份；

h表面研磨

使用360#、800#氧化铝磨料的打磨片，研磨加热器表面，保证加热器表面无凸起，至粗糙度达到Ra≤2um；

i第二次表面喷砂

对加热器部件进行喷砂处理，增加加热器表面粗糙度；

j表面检查

依次使用粗糙度测量仪、膜厚测量仪、平面度测量仪测试加热器表面的粗糙度、膜厚、平面度；

k第二次高压水洗

将测量合格的部件转入高压水洗工段，使用高压水枪对加热器部件，进行高压水洗，然后使用压缩空气吹干表面水份；

l超声波清洗

对部件进行超声波清洗；

m氮气吹扫

对冲洗完毕的部件，使用99.999％纯度的氮气进行表面吹扫，去除部件表面的水迹；

n干燥