[发明专利]一种器件的制造方法及承载板在审

专利信息
申请号: 202111544524.3 申请日: 2021-12-16
公开(公告)号: CN114203623A 公开(公告)日: 2022-03-18
发明(设计)人: 李卫东;李新连;赵志国;赵东明;张赟;夏渊;秦校军;熊继光;梁思超 申请(专利权)人: 华能新能源股份有限公司;中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司
主分类号: H01L21/687 分类号: H01L21/687;H01L31/0224;H01L31/0463;H01L31/0465;H01L31/18
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 柳虹
地址: 100036 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 本申请提供一种器件的制造方法及承载板,承载板可以包括框架和与框架连接的多个横梁,框架用于承载待处理衬底,待处理衬底具有多个条状的栅线区域以及栅线区域之间的非栅区域,栅线区域用于形成导电栅线,待处理衬底上形成有透明导电膜层,透明导电膜层上的非栅区域形成有有机涂层,在框架上承载有待处理衬底时,横梁位于待处理衬底的下方,且覆盖非栅区域中的部分区域,即覆盖部分有机涂层,这样在形成导电材料层时,导电材料层不会形成在横梁覆盖的区域,利用有机溶剂溶解有机涂层,可以去除有机涂层和有机涂层上的导电材料层,形成位于栅线区域的导电栅线,有机溶剂与未被导电材料层覆盖的有机涂层接触,脱模效率较高,提高栅线的制造效率。
搜索关键词: 一种 器件 制造 方法 承载
【主权项】:
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