[发明专利]压力调节装置以及具备其的基板处理装置在审
| 申请号： | 202111541284.1 | 申请日： | 2021-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN114688446A | 公开（公告）日： | 2022-07-01 |
| 发明（设计）人： | 朴秀哲;洪宜哲;金珉徹 | 申请（专利权）人： | 细美事有限公司 |
| 主分类号： | F17C5/00 | 分类号： | F17C5/00;F17C7/00;F17C13/00;F17C13/02;F17C13/04;F17D1/04;F17D3/01;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京钲霖知识产权代理有限公司 11722 | 代理人： | 李英艳;玉昌峰 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供压力调节装置以及具备其的基板处理装置。压力调节装置包括：保管罐，保管要向所述腔室提供的气体；第一供应管线，从外部管线向所述保管罐供应所述气体；第二供应管线，从所述保管罐向所述腔室供应所述气体；排出管线，用于从所述腔室向排出口排出所述气体；以及控制部，对配置于所述第一供应管线、第二供应管线以及所述排出管线的阀进行控制。所述排出管线包括：第一开闭阀和第二开闭阀，彼此并联连接于所述腔室的排出端；以及第三开闭阀，与所述腔室的排出端连接。当从所述腔室排出气体时，所述控制部控制成开启所述第一开闭阀以及所述第二开闭阀，若开启所述第一开闭阀以及所述第二开闭阀后经过预定时间则开启所述第三开闭阀。 | ||
| 搜索关键词： | 压力 调节 装置 以及 具备 处理 | ||
【主权项】：
暂无信息
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