[发明专利]一种液态金属氧传感器的封装装置及方法在审
| 申请号： | 202111527905.0 | 申请日： | 2021-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN114252484A | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | 常海龙;王志光;马志伟;刘超;庞立龙;孙建荣;申铁龙 | 申请（专利权）人： | 中国科学院近代物理研究所 |
| 主分类号： | G01N27/30 | 分类号： | G01N27/30 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 谢斌 |
| 地址： | 730000 *** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种液态金属氧传感器的封装装置及方法，其中装置包括一封闭腔体，封闭腔体包括上盖部和腔身部，上盖部的顶端上配置有舱门，封闭腔体内设有氧传感器固定支架，封闭腔体设置有抽气口和充气口。本发明公开了一种液态金属氧传感器的封装装置及方法，营造了真空环境或惰性气体保护环境，便于液态金属氧传感器完成封装操作，而且保护参比电极不会受到污染而变质，提高了液体金属氧传感器的可靠性与测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 液态 金属 传感器 封装 装置 方法 | ||
【主权项】：
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