[发明专利]一种液态金属氧传感器的封装装置及方法

权利要求书

1.一种液态金属氧传感器的封装装置，其特征在于，包括一封闭腔体(1)，

所述封闭腔体(1)包括上盖部(2)和腔身部(3)，所述上盖部(2)位于所述腔身部(3)上且内部相连通，

所述上盖部(2)的顶端上配置有舱门(21)，用于取放液态金属氧传感器；

所述封闭腔体(1)内设有氧传感器固定支架(4)，用于固定液态金属氧传感器；

所述封闭腔体(1)设置有抽气口(5)和充气口(6)，分别用于抽真空和充入惰性气体。

2.根据权利要求1所述的液态金属氧传感器的封装装置，其特征在于，

所述上盖部(2)和所述腔身部(3)均为圆柱形，且上盖部(2)的外径大于腔身部(3)的外径，上盖部(2)与腔身部(3)的连接处通过法兰与密封胶圈连接；所述腔身部(3)底端设置有可拆卸式法兰。

3.根据权利要求2所述的液态金属氧传感器的封装装置，其特征在于，

所述氧传感器固定支架(4)包括固定盘(41)，用于承载液态金属氧传感器的卡盘，所述固定盘下固定有细长管(42)，用于装载液态金属氧传感器的细长杆件且使其保持竖立状态。

4.根据权利要求3所述的液态金属氧传感器的封装装置，其特征在于，

所述抽气口(5)设置于上盖部(2)的底面，所述抽气口(5)通过抽气管道连通有真空泵(51)，所述抽气管道上有排气阀(52)；

所述充气口(6)设置于腔身部(3)或者细长管(42)的下端侧壁，所述充气口(6)通过充气管道连通有惰性气体瓶(61)的出气口，所述惰性气体瓶(61)的出气口上设有气阀(62)。

5.根据权利要求4所述的液态金属氧传感器的封装装置，其特征在于，

所述上盖部(2)的侧壁连接有两支手套(7)。

6.根据权利要求5所述的液态金属氧传感器的封装装置，其特征在于，

所述上盖部(2)上端配有气压表(22)和安全泄压阀(23)，所述安全泄压阀(23)的连接管上设有单向阀(24)。

7.根据权利要求8所述的液态金属氧传感器的封装装置，其特征在于，

所述腔身部(3)内部配有红外加热器。

8.一种液态金属氧传感器的封装方法，采用如权利要求7所述的液态金属氧传感器的封装装置，其特征在于，包括：

步骤S1：打开舱门(21)，将待组装的液态金属氧传感器的部件放入上盖部(2)，同时将液态金属氧传感器的卡盘(101)固定在氧传感器固定支架(4)的固定盘(41)上，氧传感器固定支架(4)的细长管(42)装载液态金属氧传感器的细长杆件(102)；

步骤S2：关闭舱门(21)；

步骤S3：打开排气阀(52)，启动真空泵(51)，封闭腔体(1)内的空气通过抽气口(5)抽出，直至达到目标真空度时，停止抽气。

9.根据权利要求8所述的液态金属氧传感器的封装方法，其特征在于，还包括以下步骤：

步骤A4：重复所述步骤S3，直至确认达到目标真空度；

步骤A5：在真空环境下对液态金属氧传感器进行封装；

步骤A6：打开舱门(21)，取出完成组装的液态金属氧传感器。

10.根据权利要求8所述的液态金属氧传感器的封装方法，其特征在于，还包括以下步骤：

步骤B4：打开气阀(62)，惰性气体瓶(61)内的惰性气体通过充气口(6)充入腔身部(3)或者细长管(42)内，直至压力值升高至目标压力值时，停止充气；

步骤B5：重复所述步骤S3至所述步骤B4；

步骤B6：重复所述步骤B5，直至确认达到目标压力值；

步骤B7：在惰性气体保护环境下对液态金属氧传感器进行封装；

步骤B8：打开舱门(21)，取出完成组装的液态金属氧传感器。