[发明专利]具有在低波长下具有透明度的窗口的化学机械抛光垫和用于这种窗口的材料

摘要

一种用于化学机械抛光的抛光垫。所述抛光垫包括具有顶部抛光表面和抛光材料的抛光部分。存在贯穿所述抛光垫的开口且开口内有透明窗口。所述透明窗口固定在所述抛光垫上。所述窗口包含聚氨酯组合物，所述聚氨酯组合物是使聚合多元醇、聚异氰酸酯和固化剂在用于减小硬链段域尺寸的硬链段抑制剂的存在下反应形成的。所述固化剂包含三个或更多个形成硬链段的羟基，并且所述聚氨酯组合物是软链段基质中的硬链段的无定形混合物并且不含碳碳双键。