[发明专利]一种差分电容式压力传感器及其用以精确测量管道流体压力的方法在审
| 申请号: | 202111521310.4 | 申请日: | 2021-12-13 |
| 公开(公告)号: | CN114199421A | 公开(公告)日: | 2022-03-18 |
| 发明(设计)人: | 杨宗凌;韩瑜;彭晓勇 | 申请(专利权)人: | 上汽大众汽车有限公司 |
| 主分类号: | G01L1/14 | 分类号: | G01L1/14;G01L25/00 |
| 代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 郭蔚 |
| 地址: | 201805 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: |
本发明提供了一种差分电容式压力传感器,包括:测量电容,包括基座电极和感应电极;保护电极,环绕测量电容设置,在测量电容和保护电极之间包括密封空气腔;参考电容,设置在测量电容和保护电极之间。本发明还提供了一种利用该压力传感器精确测量管道流体压力的方法,包括:获得测量电容的电容变化量ΔC;获得测量电容的电容值C |
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| 搜索关键词: | 种差 电容 压力传感器 及其 用以 精确 测量 管道 流体 压力 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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