[发明专利]光波导放大器及其制作方法在审
| 申请号： | 202111520608.3 | 申请日： | 2021-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN114221204A | 公开（公告）日： | 2022-03-22 |
| 发明（设计）人： | 周佩奇;肖希;王磊 | 申请（专利权）人： | 武汉光谷信息光电子创新中心有限公司;武汉邮电科学研究院有限公司 |
| 主分类号： | H01S3/067 | 分类号： | H01S3/067 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 徐雯;蒋雅洁 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉市东湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本公开实施例公开了一种光波导放大器及其制作方法，所述光波导放大器包括：衬底；位于所述衬底上、且沿平行于所述衬底的第一方向并列排布的至少两个光波导；其中，相邻的两个所述光波导之间具有间隙；位于所述间隙内的、掺杂稀土元素的掺杂介质层；其中，在垂直于所述衬底的第二方向上，所述掺杂介质层的高度大于或者等于所述光波导的高度；所述掺杂介质层的折射率小于所述光波导的折射率；石墨烯层，覆盖并接触所述掺杂介质层；第一电极，与所述石墨烯层电连接；第二电极，与所述衬底接触。 | ||
| 搜索关键词： | 波导 放大器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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