[发明专利]改变蚀刻参数的方法在审
| 申请号： | 202111513976.5 | 申请日： | 2017-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN114137803A | 公开（公告）日： | 2022-03-04 |
| 发明（设计）人： | R·J·F·范哈恩;V·E·卡拉多;L·P·范戴克;R·沃克曼;E·C·摩斯;J·S·威尔登伯格;M·乔詹姆森;B·拉贾塞克兰;E·詹森;A·J·乌尔班奇克 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/3065;H01L21/66 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 胡良均 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种改变衬底蚀刻过程的蚀刻参数的方法，所述方法包括：在蚀刻之前进行与衬底上的结构相关的第一度量的第一测量；在蚀刻之后进行与衬底上的结构相关的第二度量的第二测量；以及基于所述第一测量与所述第二测量之间的差改变所述蚀刻参数。 | ||
| 搜索关键词： | 改变 蚀刻 参数 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于ASML荷兰有限公司，未经ASML荷兰有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202111513976.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
