[发明专利]基板搬送装置、显影装置以及显影方法有效
| 申请号： | 202111511682.9 | 申请日： | 2021-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN114779592B | 公开（公告）日： | 2023-10-03 |
| 发明（设计）人： | 秋冈知辉 | 申请（专利权）人： | 株式会社斯库林集团 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 郑乐;臧建明 |
| 地址： | 日本京都府京都市上京区堀*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种基板搬送装置、显影装置以及显影方法。本发明有效地防止通过盛在基板表面的显影液来进行显影处理时所产生的泡经由搬送辊而附着于基板的表面。本发明包括：搬送辊，一边从下方支撑基板一边旋转，以搬送基板；以及除泡构件，在由搬送辊所搬送的基板的下方侧与搬送辊非接触地配置，将从盛在搬送中的基板上的显影液产生并附着于搬送辊的泡中的、从搬送辊的周面堆积的部位予以去除。 | ||
| 搜索关键词： | 基板搬送 装置 显影 以及 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社斯库林集团，未经株式会社斯库林集团许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202111511682.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
