[发明专利]基板搬送装置、显影装置以及显影方法

权利要求书

1.一种基板搬送装置，对在表面盛有显影液的基板进行搬送，所述基板搬送装置的特征在于包括：

搬送辊，一边从下方支撑所述基板一边旋转，以搬送所述基板；以及

除泡构件，在由所述搬送辊所搬送的所述基板的下方侧与所述搬送辊非接触地配置，将从盛在搬送中的所述基板上的所述显影液产生并附着于所述搬送辊的泡中的、从所述搬送辊的周面堆积的部位予以去除。

2.根据权利要求1所述的基板搬送装置，其中

所述搬送辊具有圆筒状构件，所述圆筒状构件在与所述基板的搬送方向正交的水平方向上，一边与所述基板的背面整体接触一边旋转。

3.根据权利要求1或2所述的基板搬送装置，其中

所述搬送辊沿搬送所述基板的方向排列有多个，

针对每个所述搬送辊来设置所述除泡构件。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的基板搬送装置，其包括：

间隙调整机构，通过使所述除泡构件相对于所述搬送辊而接近以及远离，从而调整所述除泡与所述搬送辊的间隙。

5.一种显影装置，其特征在于，包括：

显影液喷嘴，对基板的表面供给显影液而盛在所述基板的表面；以及

如权利要求1至4中任一项所述的基板搬送装置，

在通过所述基板搬送装置来搬送所述基板的期间，对所述基板的表面实施显影处理。

6.一种显影方法，其特征在于，包括下述工序：

在一边利用搬送辊来从下方支撑在表面盛有显影液的基板，一边通过所述搬送辊的旋转来以水平姿势搬送所述基板的期间，实施显影处理的工序；以及

通过除泡构件，将从盛在搬送中的所述基板上的所述显影液产生并附着于所述搬送辊的泡中的、从所述搬送辊的周面堆积的部位予以去除的工序，所述除泡构件是在由所述搬送辊所搬送的所述基板的下方侧非接触地配置。