[发明专利]基板搬送装置、显影装置以及显影方法

说明书

本发明涉及一种基板搬送装置、显影装置以及显影方法。本发明有效地防止通过盛在基板表面的显影液来进行显影处理时所产生的泡经由搬送辊而附着于基板的表面。本发明包括：搬送辊，一边从下方支撑基板一边旋转，以搬送基板；以及除泡构件，在由搬送辊所搬送的基板的下方侧与搬送辊非接触地配置，将从盛在搬送中的基板上的显影液产生并附着于搬送辊的泡中的、从搬送辊的周面堆积的部位予以去除。

技术领域

本发明涉及一种通过搬送辊来搬送在表面盛有显影液的基板的基板搬送技术、以及在通过所述搬送辊来搬送基板的期间对所述基板的表面实施显影处理的显影技术。另外，基板包含液晶显示装置或有机电致发光(Electroluminescence，EL)显示装置等的平板显示器(Flat Panel Display，FPD)用玻璃基板、半导体晶片、光掩模(photo mask)用玻璃基板、彩色滤光器(color filter)用基板、记录盘用基板、太阳能电池用基板、电子纸用基板等精密电子装置用基板、半导体封装用基板(以下简称作“基板”)等。

背景技术

在通过搬送辊来搬送表面盛有显影液的基板的期间对基板执行显影处理的显影装置有时作为基板处理系统的一构成元件而被装入所述系统中。例如日本专利特开2016-167475号公报中，显影装置与清洗装置、脱水烘烤装置、抗蚀剂涂布装置、减压干燥装置、预烘烤装置、曝光装置以及后烘烤装置一同作为处理装置而设在基板处理系统中。而且，基板处理系统具有这些处理装置、以及进行基板向所述装置群的出入的移载器(indexer)部。

在移载器部中，载置收纳多个基板的匣盒(cassette)。由配设于移载器部的移载器机器人从匣盒取出的基板首先在清洗装置中受到清洗。完成了清洗装置中的处理的基板被搬送至脱水烘烤装置，进行脱水烘烤处理。进行了脱水烘烤处理的基板接下来被搬送至抗蚀剂涂布装置，实施抗蚀剂涂布处理。实施了抗蚀剂涂布处理的基板接下来被搬送至减压干燥装置，通过减压来使涂布在基板表面的抗蚀剂液的溶剂蒸发，而使基板干燥。实施了减压干燥的基板接下来被搬送至预烘烤装置，实施加热处理以使基板表面的抗蚀剂成分固化。实施了加热处理的基板接下来被搬送至曝光装置，实施曝光处理。

完成了这些处理的基板被搬送至显影装置，进行显影处理。完成了显影处理的基板被送往后烘烤装置，实施加热处理。随后，所述基板通过移载器机器人而被收容到载置于移载器部的原本的匣盒内。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2016-167475号公报

发明内容

[发明所要解决的问题]

日本专利特开2016-167475号公报所记载的基板处理系统中，为了沿着从显影装置朝向后烘烤装置的搬送路径来搬送基板，使用了多个搬送辊。即，以将盛有显影液的基板的表面朝向上方的水平姿势来通过多个搬送辊从下方支撑基板并予以搬送。近年来，在基板搬送过程中确认到下述现象，即，伴随显影处理而溶有抗蚀剂成分的显影液起泡，其一部分附着于搬送辊。附着于搬送辊的泡如后文说明的图3的(a)栏所示那样，以堆积的状态附着于搬送辊的周面。并且，伴随搬送辊的旋转，所述泡保持堆积的状态而移动至基板的搬送路径。因此，搬送辊上的泡不仅附着于基板的背面，还会附着于表面。其结果，有时会发生下述问题，即，显影处理变得不均匀，从而导致显影品质的下降。

本发明是有鉴于所述问题而完成，其目的在于提供一种能够有效地防止通过盛在基板表面的显影液来进行显影处理时所产生的泡经由搬送辊而附着于基板表面的基板搬送技术、以及能够利用所述基板搬送技术来进行高品质的显影处理的显影技术。

[解决问题的技术手段]